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题名卧式等离子固相外部双向沉积工艺研究
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作者
赵介堂
秦卫光
谷巨明
江志和
张铁
刘念宗
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机构
久智光电子材料科技有限公司
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出处
《中国建材科技》
CAS
2021年第5期96-97,共2页
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文摘
等离子固相外部沉积(PSOD)工艺自20世纪90年代从法国引进以来,虽经几次工艺研发改进,但单向熔制工艺始终未变,而单向熔制工艺在现阶段熔制产品微观质量均匀性及综合成本方面存在劣势。本文采用双下料系统配合双下料管的方式,成功实现往复双向熔制工艺,不仅在原料消耗比、沉积速率、动力消耗等综合成本方面有明显降低,同时也从熔制产品微观结构方面引入了双螺旋交织网状结构,使产品均匀性和稳定性得到提升,对后续应用,如拉管精度质量的改善、拉丝应用强度的改善,有重要意义。
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关键词
等离子
固相外沉积
双向沉积工艺
国产化
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Keywords
plasma
solid-phase external deposition
two-way deposition
localization
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分类号
O539
[理学—等离子体物理]
TQ171
[化学工程—玻璃工业]
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