用新型双对靶溅射仪制备的Fe/Ti多层膜的结构特征

在原FTS-Ⅰ型对向靶溅射基础上，设计制作了DFTS－Ⅱ型双对靶溅射仪，它具有低温、高速、成分偏离小和连续均匀溅射的特性，能够同时或交替溅射不同材料。使用DFTS－Ⅱ制备的Fe／Ti多层膜具有良好的周期调制结构，层内结构是以Fe（110）bcc相为主的Febcc多晶和Ti（0002）hcp取向生长的，但在Fe／Ti多层膜Fe／Ti的界面存在扩散驰豫现象。