溶胶-凝胶法制备ZrO_2/SiO_2双层减反硬膜

以锆酸丙酯[Zr(OPr)_4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉法涂膜,制备高透过的λ/4～λ/4型ZrO_2/SiO_2双层减反膜。该减反膜的表面均匀,均方根(RMS)粗糙度为1.038 mm,平均粗糙度(RA)为0.812 nm。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351 nm处透射比达到99.41%,比未涂膜石英玻璃基片的透射比提高了6.14%;在基频波长1053 nm处透射比达到99.63%,比未涂膜K9光学玻璃基片的透射比提高了7.67%。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1053 nm,脉冲宽度为1 ns时,薄膜的激光损伤阈值达到16.8 J/cm^2。膜层具有良好的耐擦除性能。

溶胶-凝胶ZrO_2/SiO_2双层减反膜(英文)

以锆酸丙酯[Zr(OPr)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,用溶胶-凝胶提拉法涂膜,制备了高透过的λ/4-λ/4型ZrO2/SiO2双层减反膜。以锆酸丙酯为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的催化条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。ZrO2溶胶具有很好的稳定性。制备的双层减反膜具有很好的减反效果,在石英玻璃基片二面涂膜,在激光三倍频波长351nm处透过率达到99.41%,在BK-7光学玻璃基片上涂制的双减反层膜在基频波长1053nm处透过率达到99.63%。该减反膜的均方根粗糙度(RMS)为1.038nm。膜层具有较高的激光损伤阈值,在激光波长为1064nm,脉冲宽度为1ns时,ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6J/cm2,双层减反膜的激光损伤阈值为16.8J/cm2。