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采用形状记忆合金／硅双层驱动膜结构的微泵
1
《科技开发动态》
2004年第3期54-54,共1页
关键词
形状记忆合金
硅薄膜
镍钛薄膜
双层驱动膜结构
微泵
原文传递
题名
采用形状记忆合金／硅双层驱动膜结构的微泵
1
出处
《科技开发动态》
2004年第3期54-54,共1页
关键词
形状记忆合金
硅薄膜
镍钛薄膜
双层驱动膜结构
微泵
分类号
TH137.51 [机械工程—机械制造及自动化]
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作者
出处
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1
采用形状记忆合金／硅双层驱动膜结构的微泵
《科技开发动态》
2004
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