双岛五梁式微加速度传感器的动态响应研究

用模态分析的理论和方法对离散的双岛五梁式微加速度传感器整体结构模型进行了动态响应仿真分析。根据设计需要,对结构施加了平峰阻尼;并对在不同阻尼比条件下结构的动应力及变形进行了分析,给出了改善结构动态特性的阻尼比及工作梁表面动应力的分布规律和数值;确定了传感器不受复杂模态干扰的工作频带;为合理设计传感器的结构给出了动态设计依据。