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Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射
被引量：
1
1
作者
马通达
屠海令
+2 位作者
胡广勇
邵贝羚
刘安生
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期1359-1363,共5页
运用同步辐射双晶貌相术结合高分辨三轴晶X射线衍射对经原位低温热处理的Si/SiGe/Si SOI异质结构进行研究,发现Si层(004)衍射峰两侧半高宽(FWHMs)处同步辐射双晶形貌像特征存在明显差异.对同步辐射双晶摇摆曲线中Si层(004)衍射峰的不对...
运用同步辐射双晶貌相术结合高分辨三轴晶X射线衍射对经原位低温热处理的Si/SiGe/Si SOI异质结构进行研究,发现Si层(004)衍射峰两侧半高宽(FWHMs)处同步辐射双晶形貌像特征存在明显差异.对同步辐射双晶摇摆曲线中Si层(004)衍射峰的不对称性给予了解释,同时阐明了高分辨三轴晶X射线衍射2θω扫描曲线中Si层(004)衍射双峰与Si层衍射结构的对应关系.
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关键词
同步辐射
双晶貌相
术
高分辨三轴晶X射线衍射
衍射双峰
Si/SiGe/Si-SOI异质结构
下载PDF
职称材料
X射线投影貌相和双晶貌相中的动力学象
2
作者
孙传铮
钟福民
《科技通讯（上海船厂）》
1989年第1期36-40,共5页
关键词
X射线
貌
相
图
投影
貌
相
双晶貌相
全文增补中
题名
Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射
被引量：
1
1
作者
马通达
屠海令
胡广勇
邵贝羚
刘安生
机构
北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心
北京有色金属研究总院国家有色金属及电子材料分析检测中心
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期1359-1363,共5页
文摘
运用同步辐射双晶貌相术结合高分辨三轴晶X射线衍射对经原位低温热处理的Si/SiGe/Si SOI异质结构进行研究,发现Si层(004)衍射峰两侧半高宽(FWHMs)处同步辐射双晶形貌像特征存在明显差异.对同步辐射双晶摇摆曲线中Si层(004)衍射峰的不对称性给予了解释,同时阐明了高分辨三轴晶X射线衍射2θω扫描曲线中Si层(004)衍射双峰与Si层衍射结构的对应关系.
关键词
同步辐射
双晶貌相
术
高分辨三轴晶X射线衍射
衍射双峰
Si/SiGe/Si-SOI异质结构
Keywords
synchrotron radiation double-crystal topography
high-resolution triple-axis X-ray diffraction
double diffraction peaks
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
X射线投影貌相和双晶貌相中的动力学象
2
作者
孙传铮
钟福民
出处
《科技通讯（上海船厂）》
1989年第1期36-40,共5页
关键词
X射线
貌
相
图
投影
貌
相
双晶貌相
分类号
O72 [理学—晶体学]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Si/SiGe/Si-SOI异质结构的同步辐射双晶貌相术和高分辨三轴晶X射线衍射
马通达
屠海令
胡广勇
邵贝羚
刘安生
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
下载PDF
职称材料
2
X射线投影貌相和双晶貌相中的动力学象
孙传铮
钟福民
《科技通讯（上海船厂）》
1989
0
全文增补中
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