双曲面四极质量分析器制造工艺研究

作为研究物质基本组成、结构特征、物理和化学性质的最基本的仪器—质谱仪,由于其直接测量的本质和高灵敏、高分辨性,被广泛应用于环境监测、食品安全、生命科学等多个领域。四极质量分析器是四极式质谱仪的核心部件,其零件及部件主要精度误差都要求小于0.005mm,传统制造工艺已经无法满足要求。提出了一种零件组合和部件组合加工方法,利用该方法加工了一套双曲面型四极质量分析器,加工后零件的表面粗糙度为Ra0.2μm、两组对杆140mm范围内平行度4μm。

双曲面型离子阱极杆精密车削方法

双曲面型离子阱极杆具有较高的表面质量和面型精度要求,以满足离子阱的性能要求,然而现有的加工工艺方法存在诸多不足,因此提出了基于慢刀伺服的非圆截面精密车削工艺方法。首先,针对非圆截面车削加工中存在附加工作角度进行分析,仿真结果表明用偏心装夹能极大减小加工中刀具后角干涉对刀具角度的需求。其次,对于非圆截面车削加工中的轮廓误差的形成因素进行理论分析,仿真结果显示具对心误差能极大影响曲面的轮廓误差,为了获得亚微米的线轮廓精度,刀具对心误差须控制在1μm以下。最后,通过试制加工,最终双曲面型的轮廓精度可优于0.3μm。