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感应耦合气体放电及其静电场
被引量:
1
1
作者
王超
熊熠明
李培芳
《真空电子技术》
2003年第1期18-20,共3页
提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型。放电为磁场激励型 ,稳定的等离子体由电磁场所维持 。
关键词
感应耦合
气体放电
静电场
磁场激励
双权扩散
荷电粒子
下载PDF
职称材料
题名
感应耦合气体放电及其静电场
被引量:
1
1
作者
王超
熊熠明
李培芳
机构
浙江大学电气工程学院
出处
《真空电子技术》
2003年第1期18-20,共3页
文摘
提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型。放电为磁场激励型 ,稳定的等离子体由电磁场所维持 。
关键词
感应耦合
气体放电
静电场
磁场激励
双权扩散
荷电粒子
Keywords
Gas discharge
Electrostatic field
分类号
O432.11 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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1
感应耦合气体放电及其静电场
王超
熊熠明
李培芳
《真空电子技术》
2003
1
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