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感应耦合气体放电及其静电场 被引量:1
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作者 王超 熊熠明 李培芳 《真空电子技术》 2003年第1期18-20,共3页
提出了长圆柱形感应耦合气体放电的电动力学模型。放电为磁场激励型 ,稳定的等离子体由电磁场所维持 。
关键词 感应耦合 气体放电 静电场 磁场激励 双权扩散 荷电粒子
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