电源接入方式对双频容性耦合等离子体性质的影响

采用发射光谱结合碰撞辐射模型的方法,研究27.12和2.00 MHz双频电源放电时单极双频(两个射频电源接在一个电极上)和双极双频(两个射频电源接在两个电极上)对双频容性耦合氩等离子体的电子温度和电子密度轴向分布的影响。结果发现:双极双频时的电子密度比单极双频时的高,且其中间等离子体主体区域的电子密度更加平稳和对称,而单极双频时靠接地电极一侧电子密度有一些下降,这与在接地电极附近电子损失相对较多以及高、低频电源在混频器上干扰等因素有关;双极双频时电子温度分布也更加对称和平稳。因此,双极双频接法对电子约束更好,使得高频电源和低频电源馈入等离子体的效率更高。