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孔缝双桥结构高性能压阻式加速度传感器 被引量:3
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作者 赵玉龙 刘岩 +1 位作者 孙禄 蒋庄德 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期198-204,共7页
针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求,基于微机电系统和应力集中技术,提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏度、高固有频率的压阻式微型加速度传感器。结合理论分析与数值计算方法,分析该结构的特性,通过研究孔缝... 针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求,基于微机电系统和应力集中技术,提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏度、高固有频率的压阻式微型加速度传感器。结合理论分析与数值计算方法,分析该结构的特性,通过研究孔缝尺寸对传感器性能的影响确定传感器敏感结构尺寸。传感器芯片采用微细加工工艺制作,并在简单的封装之后进行静态、动态性能测试。试验结果表明,孔缝双桥结构加速度传感器在3 V供电电压下,灵敏度可达到0.424 mV/g,相对传统双桥结构提高了60%以上,而测得的固有频率相对于传统双桥结构仅略有下降,仍在10 kHz以上。孔缝双桥结构加速度计通过引入应力集中孔缝,以较小的固有频率损失,明显提高了传感器的测量灵敏度,具有更为优良的综合性能。 展开更多
关键词 孔缝双桥结构 加速度传感器 压阻式 微机电系统
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三明治双桥微结构催化燃烧式气体传感器的设计与实现 被引量:15
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作者 谷俊涛 张永德 +1 位作者 姜金刚 李抒桐 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第2期350-359,共10页
针对传统的催化燃烧式气体传感器因手工制作,造成配对难、一致性差、功耗高、不能互换等问题,基于硅MEMS技术设计并制造了一种集成双桥催化燃烧式酒精气体传感器。通过ANSYS有限元分析方法对传感器的温度场进行分析,采用硅氧化-PECVD-... 针对传统的催化燃烧式气体传感器因手工制作,造成配对难、一致性差、功耗高、不能互换等问题,基于硅MEMS技术设计并制造了一种集成双桥催化燃烧式酒精气体传感器。通过ANSYS有限元分析方法对传感器的温度场进行分析,采用硅氧化-PECVD-氧化工艺制作三明治结构的SiO2-Si3N2-SiO2微双桥结构载体,湿法腐蚀掉硅形成梁膜结构,减少热功耗。采用薄膜工艺制作铂膜敏感电阻,涂敷纳米Al2O3-ZrO-ThO形成载体,在敏感单元上浸渍pt-pd催化剂溶液,形成催化敏感桥臂,未涂覆催化剂载体构成参比单元,实现在微双桥上的芯片集成,制成传感器。电镜观察了Pt薄膜电阻的线条,能谱分析了载体敏感材料和补偿材料成分。测试结果表明:传感器可实现体积分数0~4 500×10-6酒精检测,具有良好的线性输出特性,温度为-20^+40℃和湿度范围为30%RH^85%RH的传感器的最大零点输出小于±2.0%FS,功耗≤0.2 W,响应恢复时间均在30 s以内。 展开更多
关键词 三明治结构 双桥结构 催化燃烧 气体传感器
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一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作 被引量:4
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作者 雷啸锋 刘泽文 +3 位作者 宣云 韦嘉 李志坚 刘理天 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1442-1447,共6页
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RFMEMS开关.该开关的结构特点是,以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构,并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构.使用AgilentADS软件对该开关进行了设计和优化,结果表明,相比传统电容式单桥开关,该开关隔离度性能... 介绍了一种K波段双桥结构的电容式RFMEMS开关.该开关的结构特点是,以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构,并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构.使用AgilentADS软件对该开关进行了设计和优化,结果表明,相比传统电容式单桥开关,该开关隔离度性能得到了很大提高.利用表面微机械工艺,在高阻硅衬底上制备了开关样品.双桥开关的在片测试结果表明:驱动电压为19.5V,“开”态的插入损耗约1.6dB@19.6GHz,“关”态的隔离度约46.0dB@19.6GHz. 展开更多
关键词 RF MEMS 开关 双桥结构 高隔离度
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一种新型的双桥式压力传感器的研究
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作者 张庆鑫 刘理天 李志坚 《电子器件》 CAS 1997年第1期518-521,共4页
本文提出了一种新型的双桥结构压力传感器,两个灵敏度不同的敏感电桥被制作于同一芯片上.通过双桥间的里补,可有效地消除压力传感器的零位和灵敏度温漂,文中给出了具体的算法及相应的实验结果.
关键词 压力传感器 双桥结构 温漂补偿
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压力传感器温度漂移补偿的一种新方法 被引量:8
5
作者 张庆鑫 刘理天 李志坚 《传感器技术》 CSCD 1996年第6期45-48,共4页
提出了一种用于压力传感器的温度漂移补偿新方法。该压力传感器中包含了两个灵敏度不同的敏感电桥,它们被制作于同一芯片不同厚度的膜片上。所采用的一种电阻设置新形式,可有效节省芯片面积。通过双桥间的互补,同时消除了压力传感器... 提出了一种用于压力传感器的温度漂移补偿新方法。该压力传感器中包含了两个灵敏度不同的敏感电桥,它们被制作于同一芯片不同厚度的膜片上。所采用的一种电阻设置新形式,可有效节省芯片面积。通过双桥间的互补,同时消除了压力传感器的热零点漂移和热灵敏度漂移,文中给出了温度漂移补偿的具体算法及相应的实验结果。 展开更多
关键词 压力传感器 双桥结构 温度漂移补偿
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矩阵变换器在风力发电系统中的应用研究 被引量:3
6
作者 钟小芬 吴捷 雷春林 《电源技术应用》 2003年第7期15-19,共5页
风力发电是一种重要的新能源技术介绍了应用于新型风力发电系统的矩阵变换器,详细分析了具有9个双向开关的传统矩阵变换器与改进的双桥结构矩阵变换器,以及各自的优缺点通过分析比较得出,双桥结构矩阵变换器控制策略简单,对于不同负载,... 风力发电是一种重要的新能源技术介绍了应用于新型风力发电系统的矩阵变换器,详细分析了具有9个双向开关的传统矩阵变换器与改进的双桥结构矩阵变换器,以及各自的优缺点通过分析比较得出,双桥结构矩阵变换器控制策略简单,对于不同负载,开关数目可以减少其中,具有15个开关的双桥矩阵变换器以其经济性和控制的成熟性,适用于新型的风力发电系统。最后,详细介绍了该双桥式矩阵变换器箝位电路的工作原理和参数设计。 展开更多
关键词 矩阵变换器 双向开关 双桥结构拓扑 箝位电路
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Connecting parameters optimization on unsymmetrical twin-tower structure linked by sky-bridge 被引量:1
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作者 孙黄胜 刘默涵 朱宏平 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2014年第6期2460-2468,共9页
Based on a simplified 3-DOF model of twin-tower structure linked by a sky-bridge,the frequency response functions,the displacement power spectral density(PSD)functions,and the time-averaged total vibration energy were... Based on a simplified 3-DOF model of twin-tower structure linked by a sky-bridge,the frequency response functions,the displacement power spectral density(PSD)functions,and the time-averaged total vibration energy were derived,by assuming the white noise as the earthquake excitation.The effects of connecting parameters,such as linking stiffness ratio and linking damping ratio,on the structural vibration responses were then studied,and the optimal connecting parameters were obtained to minimize the vibration energy of either the independent monomer tower or the integral structure.The influences of sky-bridge elevation position on the optimal connecting parameters were also discussed.Finally,the distribution characteristics of the top displacement PSD and the structural responses,excited by El Centro,Taft and artificial waves,were compared in both frequency and time domain.It is found that the connecting parameters at either end of connection interactively affect the responses of the towers.The optimal connecting parameters can greatly improve the damping connections on their seismic reduction effectiveness,but are unable to reduce the seismic responses of the towers to the best extent simultaneously.It is also indicated that the optimal connecting parameters derived from the simplified 3-DOF model are applicable for two multi-story structures linked by a sky-bridge with dampers.The seismic reduction effectiveness obtained varies from 0.3 to 1.0 with different sky-bridge mass ratio.The displacement responses of the example structures are reduced by approximately 22% with sky-bridge connections. 展开更多
关键词 twin-tower connected structure sky-bridge connecting parameter optimization seismic response
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Coordination Triangular Prism of Bisilver Complex with Triply-bridged of Bis(diphenylphosphino)amine
8
作者 施林熙 张礼仪 陈忠宁 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第3期283-286,共4页
The binuclear complex [Ag2(m-Ph2PNHPPh2)3](ClO4)2CH2Cl2CH3OH (Ph2PNHP- Ph2 = bis(diphenylphosphino)amine) was prepared from the reaction of AgClO4 with bis- (diphenylphosphino)amine in equimolar ratio through self-ass... The binuclear complex [Ag2(m-Ph2PNHPPh2)3](ClO4)2CH2Cl2CH3OH (Ph2PNHP- Ph2 = bis(diphenylphosphino)amine) was prepared from the reaction of AgClO4 with bis- (diphenylphosphino)amine in equimolar ratio through self-assembly. The coordination cation affords a triply-bridging [Ag2L3]-type coordination moiety. The silver atom is in a trigonal planar environment with P3 coordination chromophore. The complex (C74H69Cl4N3O9P6Ag2) crystallizes in monoclinic, space group Cc with a = 18.3738(1), b = 20.0207(4), c = 20.5422(4) ? b = 95.829(1), V = 7517.5(2) 3, Z = 4, Mr = 1687.68, Dc = 1.491 g/cm3, F(000) = 3432, m = 0.848 mm-1, the final R = 0.0460 and wR = 0.0935 for 7005 observed reflections with I > 2s(I). 展开更多
关键词 bis(diphenylphosphino)amine binuclear complex crystal structure SILVER
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Synthesis and Crystal Structure of a Cyano- bridged Bimetallic Complex[La(DMSO)_3(H_2O)_3- Cr(CN)_6]·H_2O (DMSO = Dimethylsulfoxide) with One-dimensional Chain Molecular Structure
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作者 梁淑惠 车云霞 郑吉民 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1226-1229,共4页
The title complex [La(DMSO)3(H2O)3Cr(CN)6]H2O was obtained by the reaction of LaCl37H2O, DMSO and K3[Cr(CN)6] in aqueous solution on a hot water bath. The crystal crystallizes in orthorhombic, space group P212121 with... The title complex [La(DMSO)3(H2O)3Cr(CN)6]H2O was obtained by the reaction of LaCl37H2O, DMSO and K3[Cr(CN)6] in aqueous solution on a hot water bath. The crystal crystallizes in orthorhombic, space group P212121 with a = 9.827(3), b = 15.037(4), c = 17.633(5) ? C12H26CrLaN6O7S3, Mr = 653.48, Z = 4, V = 2605.7(13) ?, Dc = 1.666 g/m3, (MoKa) = 2.314 mm-1, F(000) = 1300, R = 0.0205 and wR = 0.0481 for 5038 observed reflec- tions (I > 2s(I)). La3+ ion is eight-coordinated by three DMSO molecules, three H2O molecules and two [Cr(CN)6]3- units. The structure of the title complex possesses a cyano-bridged one- dimensional zigzag chain structure with alternating La(DMSO)3(H2O)3 and Cr(CN)6 moieties, which are linked by some hydrogen bonds to form a 3D network structure. 展开更多
关键词 crystal structure synthesis cyano-bridged bimetallic complex hydrogen bond
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Synthesis,Structural Characterization and Magnetic Properties of{[Gd(DMF)_(3)(DMSO)(H_(2)O)_(3)](μ-CN)(Fe)(CN)_(5)]}·2H_(2)O
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作者 CHEN Wen-Tong CAI Li-Zhen +4 位作者 WU A-Qing GUO Guo-Cong HUANG Jin-Shun DONG Zhen-Chao Akiyuki Matsushita 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第6期693-697,共5页
A new cyano-bridged Gadolinium^(Ⅲ)-Iron^(Ⅲ)complex{[Gd(DMF)_(3)(DMSO)(H_(2)O)_(3)]2H_(2)0(DMF=N,N·-dimethylformamide;DMSO=dimethylsulfoxidel}was synthesized by the grinding reaction method,.It crysta-]llizes in... A new cyano-bridged Gadolinium^(Ⅲ)-Iron^(Ⅲ)complex{[Gd(DMF)_(3)(DMSO)(H_(2)O)_(3)]2H_(2)0(DMF=N,N·-dimethylformamide;DMSO=dimethylsulfoxidel}was synthesized by the grinding reaction method,.It crysta-]llizes in the triclinic.,space group P1 with ceIl parameters:a=O.90363(2)nm,b=1.25078(3)nm,c=1.41303(1)nm,穋m^(-3),Z=2,Mr=756.72,F(000)=760,Ⅲ)and the approxi-mately oriented octahedrally sixfold-coordinated Fe(Ⅲ)are linked by a cyano-bridge group to construct a dinuclear compound.The{[Gd(DMF)_(3)(DMSO)(H_(2)O)_(3)](Ⅲ)-Fe(Ⅲ)interaction is antiferromagnetic.CCDC:223430. 展开更多
关键词 crystal structure cyano-bridged dinuclear complex hybrid prussian blue complex molecular magnet lanthanide mixed ligand complex
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Ferromagnetic interactions in EO-azido-bridged binuclear transition metal(Ⅱ) systems: Syntheses, crystal structures and magnetostructural correlations
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作者 ZHANG ShiYuan WANG BingWu +3 位作者 XU Na SHI Wei GAO Song CHENG Peng 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2012年第6期942-950,共9页
Three new isostructural binuclear transition metal complexes with azido ion and 1,2-bis(3-(pyridin-2-yl)-lH-pyrazol-1- yl)ethane (bppe), formulated as [M2(N3)2(bppe)2](C104)2 (M = Co, 1; Ni, 2; Cu, 3), w... Three new isostructural binuclear transition metal complexes with azido ion and 1,2-bis(3-(pyridin-2-yl)-lH-pyrazol-1- yl)ethane (bppe), formulated as [M2(N3)2(bppe)2](C104)2 (M = Co, 1; Ni, 2; Cu, 3), were successfully synthesized. They were structurally and magnetically characterized. In 1-3, the double azido ions link two adjacent octahedral metal centers together in the end-to-on mode (EO), with the M-NEo-M angles of 99.41°, 100.24° and 99.80°, respectively. The co-ligand bppe acts as terminal ligand to saturate the remaining coordination sites. The magnetic properties of 1-3 have been investigated in the tem- perature range of 2-300 K. Fitting of the magnetic susceptibility data revealed the occurrence of the strong ferromagnetic in- teractions [J = 26.32 cm-1 (1), J = 38.23 cm-1 (2) and J = 139.83 cm-1 (3)]. Density functional theory calculations have been performed on 1-3 to provide a magneto-structural correlation of the ferromagnetic behavior. 展开更多
关键词 crystal structure binuclear complex magnetic property DFT calculation
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