激光双焦干涉球面轮廓仪实时扫描及数据处理系统

介绍了一种双焦干涉球面扫描轮廓仪，该仪器利用计算机及自动控制系统对曲率半径从±5mm～±30mm的球面进行扫描驱动及采样，并将球面轮廊信号通过A/D转换及数据处理后显示打印表面轮廓参数。整个系统功能齐全。

双焦干涉球面轮廓仪机构分析

介绍了双焦干涉球面微观轮廓仪的总体设计，对议器结构的核心部分：扫描工作台和调焦系统的设计作了详细的分析并通过不同R的球面进行了实测示例。

一种双焦干涉平面微观轮廓仪

激光双焦干涉表面微观轮廓仪在测量原理上首次实现完全共路干涉和无需参考面的突破，为在加工现场对超光滑表面的实时检测提供了可能。本文论述了一种产品化的双焦干涉平面微观轮廓仪的测试原理和控制过程，着重介绍其软件的功能结构和关键算法，最后给出了和进口Ｗｙｋｏ轮廓仪比对的结果。

非接触式表面微观形貌光学测量技术的进展

本文简述非接触表面微观形貌测量技术的发展概况，并对几种新型干涉测量仪器的工作原理和结构作了简单介绍。