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一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
被引量:
1
1
作者
崔高增
刘涛
+2 位作者
李国光
郭霞
夏洋
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第6期89-94,共6页
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对...
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
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关键词
测量
双片波片补偿器
光轴
光谱椭偏仪
偏差角度
消色差
原文传递
题名
一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
被引量:
1
1
作者
崔高增
刘涛
李国光
郭霞
夏洋
机构
中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室
北京工业大学电子信息与控制工程学院
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013年第6期89-94,共6页
基金
中国科学院科研装备研制项目(28Y3YZ018001)资助课题
文摘
双片零级波片和消色差波片是双片波片贴合的补偿器,双片波片中的光轴对准精确度影响波片的偏振调制。提出一种精密检测贴合式双片波片光轴偏差角的方法,该方法基于旋转补偿器的直通式椭偏系统,可在未知起偏器方位角和检偏器方位角相对关系的情况下,通过波片的连续旋转测量偏差角度。探讨了偏差角度对椭圆偏振测量的影响,具体描述了检测方法的原理及数学表达,并通过对检测过程的模拟验证了方法的有效性。此方法对检测和提高双波片式补偿器制造精度具有参考价值。
关键词
测量
双片波片补偿器
光轴
光谱椭偏仪
偏差角度
消色差
Keywords
measurement
biplate compensator
optical axis
spectroscopic ellipsometer
misalignment angle
achromatism
分类号
O433.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法
崔高增
刘涛
李国光
郭霞
夏洋
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2013
1
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