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基于面内补偿的微机电系统离面运动测试
被引量:
2
1
作者
陈澄
李艳宁
+2 位作者
陈治
Dante Dorantes
胡小唐
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期310-314,共5页
将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干涉图像;然后通过图像处理得到每个准静态位置...
将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干涉图像;然后通过图像处理得到每个准静态位置的亮场图像,进行面内位移测试;最后利用面内位移测试结果对离面位移测试进行补偿,即双相位展开算法,完成对于MEMS结构的离面运动测试。实验结果表明:面内运动的测试的精度可达0.01 pixel,静态离面高度测试的重复精度可达0.52 nm,可以完成伴随着面内位移的MEMS离面位移测试。
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关键词
微机电系统(MEMS)
频闪成像
相移显微干涉
双相位展开
原文传递
题名
基于面内补偿的微机电系统离面运动测试
被引量:
2
1
作者
陈澄
李艳宁
陈治
Dante Dorantes
胡小唐
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期310-314,共5页
基金
天津市科技计划(11JCYBJC06300)
科技部国际科技合作与交流专项(2008DFA71610)
国家自然科学基金重点项(60723004),国家自然科学基金面上项目(50675152)资助项目
文摘
将频闪成像技术和相移显微干涉技术相结合,提出了一种基于面内补偿的微机电系统(MEMS)离面运动测试方法。首先通过相移显微干涉技术自动采集MEMS结构运动周期内不同准静态位置处的数帧相移干涉图像;然后通过图像处理得到每个准静态位置的亮场图像,进行面内位移测试;最后利用面内位移测试结果对离面位移测试进行补偿,即双相位展开算法,完成对于MEMS结构的离面运动测试。实验结果表明:面内运动的测试的精度可达0.01 pixel,静态离面高度测试的重复精度可达0.52 nm,可以完成伴随着面内位移的MEMS离面位移测试。
关键词
微机电系统(MEMS)
频闪成像
相移显微干涉
双相位展开
Keywords
micro-electromechnical system(MEMS)
stroboscopic imaging
phase-stepping microscopic interferometry
double-phase unwrapping
分类号
TN752 [电子电信—电路与系统]
TN603.5 [电子电信—电路与系统]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于面内补偿的微机电系统离面运动测试
陈澄
李艳宁
陈治
Dante Dorantes
胡小唐
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
原文传递
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