双端调谐音叉石英谐振器的结构设计方法研究

叙述了双端调谐音叉石英振梁式重力传感器的结构和工作原理。根据石英谐振器的谐振频率公式和石英晶体的压电效应原理,确定了石英谐振器的主要结构尺寸和电极设置。应用有限元法计算了该谐振器的谐振频率,显示了一阶模态振型,这为设计不同用途的石英振梁式加速度传感器提供了理论依据。