基于双缝隙结构的电光调制器设计与工艺实现

受铜线带宽小、延时大、功耗高的限制,下一代芯片互连较为可行的一种解决方式是采用光互连。调制器作为其中的关键器件,有重要的研究意义。设计了一种新型的硅基双缝隙波导电光调制器,该调制器结构采用法布里珀罗微谐振器,依靠缝隙内高非线性聚合物的快速电光效应,通过外加电压达到调制效果。调制器结构包含了新型的一般微纳波导到双缝隙波导的模式转换器,降低了传输损耗,也更利于电极的工艺制作。首先对设计结构进行仿真分析,得到合适的设计参数。然后,对调制器所需的工艺进行反复验证,包括工艺制备中参数的优化等,通过使用电子显微镜已观测到较好的光刻线宽、刻蚀深度以及侧壁粗糙度。初步完成了调制器硅基部分的制备,为下一步聚合物工艺打下基础。