超高真空环境下测试产品的放气分析(英文)

本文介绍了材料放气的理论和模型,同时运用费克定理推导出圆柱型测试产品的理论放气率,并介绍了测量放气率的两种常用方法:定容法和小孔流导法。文中指出了运用小孔流导法存在的三个问题,并通过双规流导(TGT)法解决了此类问题。