微细加工用双足式大行程微动工作台的研究

大行程微动工作台是微细加工设备的重要组成部分 ,针对当前微动工作台行程小 ,或行程较大而其检测控制复杂等不足 ,提出了一种“双足式移动”的新原理 ,并研制了一台双足式大行程微动工作台。该工作台由两套进给和支承微位移器来实现进给和支承。在研究中 ,提出了一套检测控制系统 ,可对工作台的移动位移大小和方向进行实时控制 ,这种检测控制系统可以使工作台按照任意的路径进给。该工作台还具有很多优点 :比如分辨率高、无导轨、无摩擦、运动平稳、承载能力高、控制简单等。