半导体激光准直仪及其激光束漂移补偿研究

半导体激光器和线阵CCD是进行准直测量的关键部件,半导体激光束的漂移是影响测量精度的一个因素。采用双激光束合并补偿和平面镜反射方法,缩短了激光束在空气中的传播途径,降低了空气扰动对激光漂移的影响,使得激光准直仪精度提高50%。