锆表面双辉等离子渗铜工艺研究

对锆表面进行双辉等离子渗铜处理,得到连续的无明显缺陷的渗铜层。设计L9(34)正交实验,依据不同实验条件下的渗铜层厚度,分析得出主要实验因素对渗镀结果影响程度排序为:极间距>时间>温度>气压。综合考虑渗镀过程实际情况及实验对比,给出了锆表面双辉等离子渗铜的较优工艺参数。