双金属微悬臂梁的选材及热机械性能分析

由微悬臂梁结构组成的红外焦平面阵列(FPA)是基于微机电系统结构的非制冷型红外成像系统的核心技术。通过对Al/SiNx双材料体系的理论分析,得出了微悬臂梁的热机械性能与双层梁的厚度比之间的关系。