本征约瑟夫森结的双面制备工艺与毫米波响应

采用基于Bi2Sr2CaCu2O8+x(BSCCO)单晶的双面工艺制备本征Josephson(约瑟夫森)结.通过单晶解理和双面氩离子刻蚀的方法,成功制备出单晶厚度小于200nm,一致性良好的本征结器件.采用准光学系统,研究了本征结在毫米波辐照下的响应.垂直于ab面方向磁场的作用使本征结在毫米波辐照下出现Shapiro(夏皮罗)台阶,而且各个结的约瑟夫森振荡是相位锁定的。