光刻机双面对准精度测量系统

双面对准精度是接触接近式光刻机的关键性能指标,介绍了一种检测此项指标的测量原理及应用该原理研制的双面对准精度测量系统,并对设备的部件构成及控制流程作了叙述。设备实际验证了检测原理,对50、75、100及150 mm圆形基片均可适用。

用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计

比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。

超精密标准齿轮径向综合偏差测试系统的研究

超精密标准齿轮主要用于测量普通精度标准齿轮的实体基准、齿轮测量仪器的校核等,因此其本身径向综合偏差的检测有着重要的意义,而目前的齿轮径向综合偏差仪器满足不了要求。为此,我们研制了专门的测量仪,结构上采用弹簧片悬挂摆动架结构,克服了传统齿轮双啮仪回转误差大、灵敏度低、分辨率低及测量力大的缺点,测试系统实现了人工智能化,可进行GB/T 10095.2—2008规定的2级及2级以上渐开线圆柱齿轮径向综合偏差的检测。

纸张在线定量测量控制技术

综述了各种不同的纸张在线定量测量传感器控制系统的工作原理、特点、定量控制方法以及选用原则。

JWF1618型转杯纺纱机的研发与应用

为了提高纺纱品质和速度,介绍JWF1618型转杯纺纱机机电一体化半自动接头系统、新型传动机构等的创新改进以及冷拉精拔、电化学抛光等制造装配工艺、质量控制及主要技术规格;以纺制OE 27.8 tex和OE 36.4 tex纱为例说明该机型生产纯棉纱质量稳定、条干良好的纺纱效果,并分析说明该机型存在不足及改进建议。指出:JWF1618型转杯纺纱机具有单锭计长功能,可简化操作并降低失误率,具有生产速度快、接头质量高、纺纱品质优等优势,适宜小批量、多品种生产,纺纱质量稳定在USTER 2013公报25%水平以内,稳定纺纱速度为100 kr/min。