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合晶科技完成双面抛光与绝缘层硅晶圆开发
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《集成电路应用》 2005年第8期23-23,共1页
合晶科技前不久宣布完成双面抛光(Double Side Polishing)硅晶圆,与绝缘层硅晶圆(SOI,Silicon on Insulatorl开发,成为我国台湾地区第一家提供相关硅晶圆的上游原材料公司。
关键词 硅晶圆 双面抛光技术 绝缘层硅晶圆 半导体器件 合晶科技公司
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德国彼特沃尔特斯公司
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《电子工业专用设备》 2003年第4期89-89,共1页
关键词 德国 彼特沃尔特斯公司 平面精密加工 加工精度 双面抛光技术
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