双面研磨机结构分析与盘面修整工艺的研究

介绍了蓝宝石衬底片双面研磨机的加工原理以及其行星传动结构,并对这种结构做了相应的数学分析。而且对磨盘盘面的修正原理做了简单的介绍。并给出了四种不同盘面形状的修正参数。