1
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大气压双频容性耦合Ar/O_(2)等离子体特性研究 |
刘文静
刘相梅
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《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2023 |
0 |
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2
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低频频率和O_2含量对双频容性耦合等离子体Ar-O_2放电的影响 |
蒋相站
张季
李文亮
姚洪斌
刘永新
刘佳
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《科学技术与工程》
北大核心
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2014 |
0 |
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3
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13.56 MHz/94.92 MHz双频容性耦合氩等离子体特性研究 |
袁强华
孟祥国
殷桂琴
吴良超
刘珊珊
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《西北师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
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2019 |
2
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4
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气压对于低气压双频容性耦合Ar/O2等离子体放电特性影响的研究 |
吴良超
殷桂琴
孟祥国
周有有
王兢婧
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《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
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2020 |
3
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5
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碰撞辐射模型诊断双频容性耦合等离子体 |
李豪
黄晓江
王墅
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《东华大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
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2019 |
2
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6
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电源接入方式对双频容性耦合等离子体性质的影响 |
李欣昱
吴集盾
黄晓江
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《东华大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
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2021 |
0 |
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7
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双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究 |
蒋相站
刘永新
毕振华
陆文琪
王友年
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2012 |
4
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8
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双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断 |
杜永权
刘文耀
朱爱民
李小松
赵天亮
刘永新
高飞
徐勇
王友年
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2013 |
0 |
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9
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SiCOH低k介质中低表面粗糙度沟道的刻蚀研究 |
钱侬
叶超
崔进
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2014 |
1
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10
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晶圆边缘离子平均入射角度数值模拟研究 |
韩文彬
冯涓
武园浩
段文睿
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2015 |
0 |
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11
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13.56MHz低频功率对60MHz射频容性耦合等离子体的电特性的影响 |
袁强华
辛煜
黄晓江
孙恺
宁兆元
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2008 |
0 |
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