基于双光栅结构的阴影莫尔法三维形貌测量

提出将双Ronchi光栅结构引入阴影莫尔法,用于物体三维形貌的测量。通过选择两光栅的夹角,得到不同周期的莫尔条纹,既可使仪器的量程与待测物体尺度相匹配,从而减小测量误差,适于进行高精度检测;又可在相位的1个周期内实现对物体的测量,避免了相位卷叠,易于实现自动测量。模拟实验结果表明,与绝对莫尔法相比,本方法可提高测量精度。