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反向双激励螺线管在航空发动机油液磨损颗粒检测中的应用
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作者 刘付星 《中国新技术新产品》 2013年第19期87-88,共2页
油液磨粒监测有两类:离线与在线监测。为了真正实现航空发动机油液磨粒在线监测,设计了一种反向双激励型螺线管式传感器,实现了航空发动机油液磨粒类型、大小、数量等的实时在线监测。
关键词 航空发动机 反向双激励型螺线管式传感器 油液磨粒 在线监测
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H型梁谐振式MEMS压力传感器设计 被引量:3
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作者 黄崇勇 许高斌 +1 位作者 陈兴 马渊明 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2022年第2期213-218,共6页
谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的... 谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究。根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的原理,文章提出一种采用电磁激励/电磁拾振方式测量外界压力的谐振式压力传感器,并对传感器建立模型,利用ANSYS有限元仿真软件对传感器进行模拟分析与仿真验证。结果表明,量程为0~300 kPa、最大过载1.2倍满量程(full-scale,FS)时,初始频率为57.984 kHz,传感器灵敏度达66.98 Hz/kPa,非线性误差小于0.15%FS。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 谐振压力传感器 电磁激励 频率测量 H端固支梁
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