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大口径反射元件环形抛光工艺
被引量:
6
1
作者
谢磊
马平
+2 位作者
刘义彬
游云峰
鄢定尧
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1687-1690,共4页
根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4m环抛机上进行了610mm×440mm×85mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥...
根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4m环抛机上进行了610mm×440mm×85mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系。研究结果表明,通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制,能够得到大口径反射元件面形的高效收敛,元件最高面形精度优于λ/6(λ=632.8nm),验证了加工工艺的有效性。
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关键词
环形抛光
大口径
反射元件
工艺优化
转速
槽形
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职称材料
高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展
被引量:
2
2
作者
黄秋实
齐润泽
+6 位作者
张哲
李文斌
蒋励
张云学
庄野琪
张众
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第21期2793-2804,共12页
X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控。本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统...
X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控。本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统深入的研究,研制了一系列工作在软X射线和硬X射线不同波段的高性能多层膜,反射率达到国际先进水平;基于磁控溅射技术建立了大尺寸掠入射X射线多层膜的镀制平台,最大镀膜尺寸达1.2 m,均匀性优于0.5%(均方根值),制备的硬X射线多层膜反射镜成功应用在国内外大科学装置中;通过将多层膜与反射光栅相结合,创新发展了超高效率韧X射线多层膜光栅元件,相比传统单层膜光栅,该元件能将韧X射线衍射效率最高提升40倍。本文将简要介绍课题组在X射线多层膜元件领域的研究进展。
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关键词
X射线多层膜
反射
率
大尺寸
反射元件
多层光栅
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职称材料
平面反射元件的安装误差对光学成像质量的影响
被引量:
3
3
作者
于丽娜
王双全
《光学与光电技术》
2011年第1期64-68,共5页
在折转光路中,由于安装误差,平面反射元件会存在三维方向的微偏角。根据棱镜调整理论,分析了由于平面反射元件的安装误差所导致的光束转向、光轴偏离系统光轴的情况,并推导出相应的精确表达式。讨论了光轴偏离后,光斑在靶面上的漂移情...
在折转光路中,由于安装误差,平面反射元件会存在三维方向的微偏角。根据棱镜调整理论,分析了由于平面反射元件的安装误差所导致的光束转向、光轴偏离系统光轴的情况,并推导出相应的精确表达式。讨论了光轴偏离后,光斑在靶面上的漂移情况。给出了一种用于修正平面反射元件在光学安装中存在轴向偏转的调整方法,并通过实验验证了该方法的可行性。
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关键词
棱镜调整理论
平面
反射元件
安装误差
调整方法
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职称材料
用改进型抗反射元件封装的红外探测器
4
作者
高
《红外》
CAS
2004年第7期23-23,共1页
美国专利US2004/0072384 (2004年4月15日公布) 为了防止探测器元件老化和受沾染物质影响,做在半导体衬底上的非致冷测辐射热计或类似探测器列阵必须被封装起来。用于封装这种探测器列阵的盖子一般可用能透红外的材料如硅制作。
关键词
红外探测器
改进型抗
反射元件
封装技术
介入损失
结构设计
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职称材料
全部采用反射元件的四组元变焦望远镜的设计与分析
5
作者
黄玮
《光机电信息》
1997年第7期9-10,共6页
本文介绍了一种全部采用反射元件的变焦望远镜的设计过程。介绍了在确定其初始结构和后续优化过程的特殊考虑。测试了由于采用反射交焦的形式造成的非常规光瞳特性引起的非常规优化过程。也介绍了设计结果。
关键词
光学设计
反射元件
变焦望远镜
望远镜
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职称材料
反射式计算机光学元件的优化设计
6
作者
邹凯
《长春师范学院学报(自然科学版)》
2009年第1期15-19,共5页
为了避免元件的相位初始值对设计的影响,提出了利用后退波的概念对反射式计算机光学元件的优化设计方法,不需设定相位初始值,就可实现元件的设计。计算机模拟计算结果表明,该方法设计的反射式元件不仅能用于光波,也能用于毫米波段,且具...
为了避免元件的相位初始值对设计的影响,提出了利用后退波的概念对反射式计算机光学元件的优化设计方法,不需设定相位初始值,就可实现元件的设计。计算机模拟计算结果表明,该方法设计的反射式元件不仅能用于光波,也能用于毫米波段,且具有较高的精度,证明此方法是有效的。
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关键词
反射
式计算机光学
元件
优化设计
浮雕高度
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职称材料
小反射波导元件高频状态下驻波比的测量
7
作者
李杰
《电子工程师》
2003年第8期41-42,共2页
介绍了一种测量小反射波导元件高频状态下驻波比的方法 ,可解决通常方法解决不了的问题。该方法具有使用设备简单 ,操作方便直观的特点。还介绍了在波导元件加工生产过程中利用此方法调整波导元件 。
关键词
小
反射
波导
元件
高频状态
驻波比
浴盆线
波导
元件
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职称材料
全息光跟踪元件
8
作者
陈林森
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
1993年第1期79-80,共2页
本文提出了用全息反射元件作广角敏感和高灵敏的光跟踪元件。
关键词
光跟踪
元件
全息
反射元件
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职称材料
聚焦X射线Bragg-Fresnel元件的研究
9
作者
乐孜纯
曹健林
潘守甫
《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》
1999年第A12期1153-1160,共8页
Bragg-Fresnel元件是近10年来发展起来的新型反射式衍射元件。它的设计理论和制作技术的研究是设计、制造元件并应用于X射线光学系统中的重要环节。介绍了Bragg-Fresnel元件的量子设计理论、元件性能模拟计算结果、元件中衍射图形制作...
Bragg-Fresnel元件是近10年来发展起来的新型反射式衍射元件。它的设计理论和制作技术的研究是设计、制造元件并应用于X射线光学系统中的重要环节。介绍了Bragg-Fresnel元件的量子设计理论、元件性能模拟计算结果、元件中衍射图形制作技术及元件中多层膜结构稳定性等方面的研究结果。并以18nm工作波长一维聚焦Bragg-Fresnel元件样片作为实例给出检测结果。
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关键词
B-F
元件
反射
线衍射
元件
量子理论
稳定性
X射线
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职称材料
近红外激光薄膜的损伤特性与抗损伤性能提升研究
10
作者
焦宏飞
张学敏
+3 位作者
程鑫彬
张锦龙
马彬
王占山
《上海航天》
CSCD
2018年第1期1-8,共8页
在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法。结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系...
在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法。结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系结构可以大大降低薄膜中由节瘤缺陷引起的电场增强效应,大幅提升损伤阈值2~3倍;对于透射元件,采用合理的刻蚀工艺可有效降低薄膜中的吸收缺陷,有效提升其损伤阈值约1.5倍。
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关键词
激光薄膜
激光损伤
损伤阈值
近红外
节瘤缺陷
吸收缺陷
反射元件
透射
元件
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职称材料
全息光伏打聚光器的设计
11
作者
陈林森
吴建宏
章建民
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期29-32,共4页
本文描述了一种采用全息反射元件的分段谱光伏打聚光器,系统的转换效率可高于26%。分析了聚光器的特性并给出了全息元件的设计参数和制作方法。
关键词
全息
反射元件
光伏打聚光器
聚光器
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职称材料
全息美容镜的制作与机理
12
作者
张光勇
章鹤龄
任玉安
《首都师范大学学报(自然科学版)》
1993年第1期52-54,共3页
本文介绍了具有美容与艺术欣赏价值双重功能的全息美容镜。详述了它的制造过程,初步解释了全息美容镜形成的化学反应机理,并指出它是制造全息反射组合式光学元件的一种新类型、新方法。
关键词
全息美容镜
全息摄影
全息
反射
组合式光学
元件
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职称材料
投影机纵横谈
13
作者
徐敏荣
《家庭电子》
2004年第3期37-37,共1页
投影机有正投、背投和吊顶3种安装方式,其关键部分是图像显示元件。目前,液晶投影机采用的图像显示元件主要有透过型液晶元件、反射型液晶元件以及利用平面镜产生像素的DMD(数字微镜元件)等三种。
关键词
液晶投影机
透过型液晶
元件
反射
型液晶
元件
DMD
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职称材料
路面反光标志
14
《技术与市场》
1997年第5期24-24,共1页
路面反光标志专利号:95200862.9本发明以后向立方角反射器元件构成回复反射系统。标志突起路面,使得入射光能够尽可能多地反射出来,并且反射与入射光基本平行;使标志反光效果甚佳。反光装置的正面与路面成锐角,可保持良...
路面反光标志专利号:95200862.9本发明以后向立方角反射器元件构成回复反射系统。标志突起路面,使得入射光能够尽可能多地反射出来,并且反射与入射光基本平行;使标志反光效果甚佳。反光装置的正面与路面成锐角,可保持良好的采光效果,也可增强标志的抗撞击...
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关键词
路面反光标志
反光效果
反射
器
元件
回复
反射
广东省佛山市
专利技术转让
入射光
反光装置
撞击能力
汽车轮胎
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职称材料
题名
大口径反射元件环形抛光工艺
被引量:
6
1
作者
谢磊
马平
刘义彬
游云峰
鄢定尧
机构
成都精密光学工程研究中心
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1687-1690,共4页
基金
国家高技术发展计划项目
文摘
根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4m环抛机上进行了610mm×440mm×85mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系。研究结果表明,通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制,能够得到大口径反射元件面形的高效收敛,元件最高面形精度优于λ/6(λ=632.8nm),验证了加工工艺的有效性。
关键词
环形抛光
大口径
反射元件
工艺优化
转速
槽形
Keywords
annular lapping; large-aperture reflective component; process optimization; rotating speed; groove shape
分类号
TG356.28 [金属学及工艺—金属压力加工]
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职称材料
题名
高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展
被引量:
2
2
作者
黄秋实
齐润泽
张哲
李文斌
蒋励
张云学
庄野琪
张众
王占山
机构
同济大学物理科学与工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第21期2793-2804,共12页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.12075170)
上海市青年科技启明星计划项目(No.19QA1409200)。
文摘
X射线多层膜是同步辐射与自由电子激光、天文观测、等离子体诊断等大科学装置和实验室分析仪器的重要光学元件,能高效率反射X射线并实现单色和偏振化等调控。本课题组在近二十年的工作中对X射线多层膜的设计、制备和表征方法开展了系统深入的研究,研制了一系列工作在软X射线和硬X射线不同波段的高性能多层膜,反射率达到国际先进水平;基于磁控溅射技术建立了大尺寸掠入射X射线多层膜的镀制平台,最大镀膜尺寸达1.2 m,均匀性优于0.5%(均方根值),制备的硬X射线多层膜反射镜成功应用在国内外大科学装置中;通过将多层膜与反射光栅相结合,创新发展了超高效率韧X射线多层膜光栅元件,相比传统单层膜光栅,该元件能将韧X射线衍射效率最高提升40倍。本文将简要介绍课题组在X射线多层膜元件领域的研究进展。
关键词
X射线多层膜
反射
率
大尺寸
反射元件
多层光栅
Keywords
X-ray multilayers
reflectivity
large size reflective optics
multilayer gratings
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
平面反射元件的安装误差对光学成像质量的影响
被引量:
3
3
作者
于丽娜
王双全
机构
中国电子科技集团公司第
出处
《光学与光电技术》
2011年第1期64-68,共5页
文摘
在折转光路中,由于安装误差,平面反射元件会存在三维方向的微偏角。根据棱镜调整理论,分析了由于平面反射元件的安装误差所导致的光束转向、光轴偏离系统光轴的情况,并推导出相应的精确表达式。讨论了光轴偏离后,光斑在靶面上的漂移情况。给出了一种用于修正平面反射元件在光学安装中存在轴向偏转的调整方法,并通过实验验证了该方法的可行性。
关键词
棱镜调整理论
平面
反射元件
安装误差
调整方法
Keywords
law of prism turning
planar reflector
errors in assembling
adjusting method
分类号
O435 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
用改进型抗反射元件封装的红外探测器
4
作者
高
出处
《红外》
CAS
2004年第7期23-23,共1页
文摘
美国专利US2004/0072384 (2004年4月15日公布) 为了防止探测器元件老化和受沾染物质影响,做在半导体衬底上的非致冷测辐射热计或类似探测器列阵必须被封装起来。用于封装这种探测器列阵的盖子一般可用能透红外的材料如硅制作。
关键词
红外探测器
改进型抗
反射元件
封装技术
介入损失
结构设计
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
全部采用反射元件的四组元变焦望远镜的设计与分析
5
作者
黄玮
出处
《光机电信息》
1997年第7期9-10,共6页
文摘
本文介绍了一种全部采用反射元件的变焦望远镜的设计过程。介绍了在确定其初始结构和后续优化过程的特殊考虑。测试了由于采用反射交焦的形式造成的非常规光瞳特性引起的非常规优化过程。也介绍了设计结果。
关键词
光学设计
反射元件
变焦望远镜
望远镜
分类号
TH743 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
反射式计算机光学元件的优化设计
6
作者
邹凯
机构
泸州医学院生物医学工程系
出处
《长春师范学院学报(自然科学版)》
2009年第1期15-19,共5页
文摘
为了避免元件的相位初始值对设计的影响,提出了利用后退波的概念对反射式计算机光学元件的优化设计方法,不需设定相位初始值,就可实现元件的设计。计算机模拟计算结果表明,该方法设计的反射式元件不仅能用于光波,也能用于毫米波段,且具有较高的精度,证明此方法是有效的。
关键词
反射
式计算机光学
元件
优化设计
浮雕高度
Keywords
reflective computer optical element
optimum design
relief height
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
小反射波导元件高频状态下驻波比的测量
7
作者
李杰
机构
大连广播电视发射台
出处
《电子工程师》
2003年第8期41-42,共2页
文摘
介绍了一种测量小反射波导元件高频状态下驻波比的方法 ,可解决通常方法解决不了的问题。该方法具有使用设备简单 ,操作方便直观的特点。还介绍了在波导元件加工生产过程中利用此方法调整波导元件 。
关键词
小
反射
波导
元件
高频状态
驻波比
浴盆线
波导
元件
Keywords
little reflection, SWR, bathtub curve
分类号
TN814 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
全息光跟踪元件
8
作者
陈林森
机构
苏州大学激光研究室
出处
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
1993年第1期79-80,共2页
文摘
本文提出了用全息反射元件作广角敏感和高灵敏的光跟踪元件。
关键词
光跟踪
元件
全息
反射元件
Keywords
holographic reflection element
light beam tracking element
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
聚焦X射线Bragg-Fresnel元件的研究
9
作者
乐孜纯
曹健林
潘守甫
机构
吉林大学原子与分子物理研究所
中国科学院长春光学精密机械研究所
出处
《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》
1999年第A12期1153-1160,共8页
基金
国家自然科学基金(批准号:69578023)
中国博士后基金
文摘
Bragg-Fresnel元件是近10年来发展起来的新型反射式衍射元件。它的设计理论和制作技术的研究是设计、制造元件并应用于X射线光学系统中的重要环节。介绍了Bragg-Fresnel元件的量子设计理论、元件性能模拟计算结果、元件中衍射图形制作技术及元件中多层膜结构稳定性等方面的研究结果。并以18nm工作波长一维聚焦Bragg-Fresnel元件样片作为实例给出检测结果。
关键词
B-F
元件
反射
线衍射
元件
量子理论
稳定性
X射线
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
近红外激光薄膜的损伤特性与抗损伤性能提升研究
10
作者
焦宏飞
张学敏
程鑫彬
张锦龙
马彬
王占山
机构
先进微结构材料教育部重点实验室
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所
出处
《上海航天》
CSCD
2018年第1期1-8,共8页
基金
国家自然科学基金(U1630123
61235011
+1 种基金
61522506)
国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2013-2)
文摘
在充分理解纳秒脉冲激光作用下近红外激光薄膜的损伤机制的基础上,分别针对反射元件和透射元件的损伤特点,探讨了两种元件的激光损伤规律,提出了有效提升近红外激光薄膜抗激光损伤性能的方法。结果表明:对于反射元件,采用优化后的膜系结构可以大大降低薄膜中由节瘤缺陷引起的电场增强效应,大幅提升损伤阈值2~3倍;对于透射元件,采用合理的刻蚀工艺可有效降低薄膜中的吸收缺陷,有效提升其损伤阈值约1.5倍。
关键词
激光薄膜
激光损伤
损伤阈值
近红外
节瘤缺陷
吸收缺陷
反射元件
透射
元件
Keywords
laser thin film
laser damage
damage threshold
near-infrared
nodule defects
absorbing defects
reflectance optical elements
transmittance optical elements
分类号
TN246 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
全息光伏打聚光器的设计
11
作者
陈林森
吴建宏
章建民
机构
苏州大学激光研究室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第1期29-32,共4页
文摘
本文描述了一种采用全息反射元件的分段谱光伏打聚光器,系统的转换效率可高于26%。分析了聚光器的特性并给出了全息元件的设计参数和制作方法。
关键词
全息
反射元件
光伏打聚光器
聚光器
分类号
TB877 [一般工业技术—摄影技术]
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职称材料
题名
全息美容镜的制作与机理
12
作者
张光勇
章鹤龄
任玉安
机构
首都师范大学物理系
北京机械工业学院基础部
出处
《首都师范大学学报(自然科学版)》
1993年第1期52-54,共3页
文摘
本文介绍了具有美容与艺术欣赏价值双重功能的全息美容镜。详述了它的制造过程,初步解释了全息美容镜形成的化学反应机理,并指出它是制造全息反射组合式光学元件的一种新类型、新方法。
关键词
全息美容镜
全息摄影
全息
反射
组合式光学
元件
Keywords
holographic-mirror
holography
holographic-reflection combined optical element
分类号
TB877.1. [一般工业技术—摄影技术]
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职称材料
题名
投影机纵横谈
13
作者
徐敏荣
出处
《家庭电子》
2004年第3期37-37,共1页
文摘
投影机有正投、背投和吊顶3种安装方式,其关键部分是图像显示元件。目前,液晶投影机采用的图像显示元件主要有透过型液晶元件、反射型液晶元件以及利用平面镜产生像素的DMD(数字微镜元件)等三种。
关键词
液晶投影机
透过型液晶
元件
反射
型液晶
元件
DMD
分类号
TN946.1 [电子电信—信号与信息处理]
下载PDF
职称材料
题名
路面反光标志
14
出处
《技术与市场》
1997年第5期24-24,共1页
文摘
路面反光标志专利号:95200862.9本发明以后向立方角反射器元件构成回复反射系统。标志突起路面,使得入射光能够尽可能多地反射出来,并且反射与入射光基本平行;使标志反光效果甚佳。反光装置的正面与路面成锐角,可保持良好的采光效果,也可增强标志的抗撞击...
关键词
路面反光标志
反光效果
反射
器
元件
回复
反射
广东省佛山市
专利技术转让
入射光
反光装置
撞击能力
汽车轮胎
分类号
F766 [经济管理—产业经济]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径反射元件环形抛光工艺
谢磊
马平
刘义彬
游云峰
鄢定尧
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
6
下载PDF
职称材料
2
高性能大尺寸X射线多层膜反射元件研制进展
黄秋实
齐润泽
张哲
李文斌
蒋励
张云学
庄野琪
张众
王占山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
3
平面反射元件的安装误差对光学成像质量的影响
于丽娜
王双全
《光学与光电技术》
2011
3
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职称材料
4
用改进型抗反射元件封装的红外探测器
高
《红外》
CAS
2004
0
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职称材料
5
全部采用反射元件的四组元变焦望远镜的设计与分析
黄玮
《光机电信息》
1997
0
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职称材料
6
反射式计算机光学元件的优化设计
邹凯
《长春师范学院学报(自然科学版)》
2009
0
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职称材料
7
小反射波导元件高频状态下驻波比的测量
李杰
《电子工程师》
2003
0
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职称材料
8
全息光跟踪元件
陈林森
《苏州大学学报(自然科学版)》
CAS
1993
0
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职称材料
9
聚焦X射线Bragg-Fresnel元件的研究
乐孜纯
曹健林
潘守甫
《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》
1999
0
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职称材料
10
近红外激光薄膜的损伤特性与抗损伤性能提升研究
焦宏飞
张学敏
程鑫彬
张锦龙
马彬
王占山
《上海航天》
CSCD
2018
0
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职称材料
11
全息光伏打聚光器的设计
陈林森
吴建宏
章建民
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994
0
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职称材料
12
全息美容镜的制作与机理
张光勇
章鹤龄
任玉安
《首都师范大学学报(自然科学版)》
1993
0
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职称材料
13
投影机纵横谈
徐敏荣
《家庭电子》
2004
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职称材料
14
路面反光标志
《技术与市场》
1997
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