用亚波长正弦介质光栅设计1/4波片

采用扩展边界条件法 ,得出亚波长正弦介质光栅正入射反射型 1/ 4波片的结构参数。发现在一定精度范围内TE波与TM波的相位差能够在一段较大的槽深区域满足设计要求 ,从而降低了实际控制刻蚀深度的难度。讨论了线偏振光转化为圆偏振光的方位角问题。