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题名离轴椭球面的反射式补偿检验
被引量:1
- 1
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作者
李红光
刘秀梅
达争尚
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机构
中国科学院西安光学精密机械研究所先进光学仪器研究室
长安大学兴华学院
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第8期2152-2155,共4页
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基金
国家高技术研究与发展计划(091Z511BOA)
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文摘
使用要求离轴椭球镜的面形PV(峰谷)值优于0.4λ(λ=351 nm)。根据三级像差理论球差表达式和补偿检验原理,得出检测光路中球面补偿镜的半径表达式。由已知数据求解补偿光路的初始结构参数,并带入软件中得到优化后的设计结果,优化后的结果和初始结构参数没有变化,说明补偿光路的求解方法是正确的。考虑到元件的加工误差和检测光路的调试误差,将误差带入检测光路进行模拟分析后,得出被检元件的面形精度:取98%的合格概率时,椭球镜的面形PV为0.379λ(λ=351 nm),能够满足使用要求,说明离轴椭球面的反射式补偿检验法是可行的。
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关键词
反射式补偿检验
精度分析
离轴椭球面
三级像差理论
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Keywords
mirror-compensation test
precision analysis
off-axis elliptic surface
third-order aberration theory
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分类号
TH744
[机械工程—光学工程]
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题名Φ4m口径凹抛物面镜折反零位补偿检验
被引量:3
- 2
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作者
胡文琦
叶璐
何勇
郑列华
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机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
中国科学院上海技术物理研究所
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出处
《量子电子学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期394-399,共6页
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基金
国家重点基础研究发展计划
2011CB013206~~
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文摘
折反射式零位补偿检验是一种综合了Offner折射式和Maksutov反射式补偿检验优点的凹非球面检验方法,补偿能力强,检测光路紧凑。大口径和大相对孔径非球面检验是制约其加工质量提高的难题,针对口径为4 m、偏心率为1、顶点曲率半径为16 m的大口径凹抛物面反射镜,设计了折反射式零位补偿器。基于三级像差理论对补偿器的初始结构进行了规划和计算,采用Zemax软件对初始结构参数进行了优化,得出了补偿器的最终结构,检验光路轴向尺寸约12 m,系统优化后剩余波相差为0.005λ。设计和仿真结果表明,这种折反射式零位补偿器对大口径凹非球面镜的加工检测是非常有利的。
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关键词
几何光学
大口径非球面检验
折反射式零位补偿检验
三级像差理论
光学系统设计
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Keywords
geometric optics
large-aperture aspheric surface test
catadioptric null compensation test
third-order aberration theory
optical system design
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分类号
O435
[机械工程—光学工程]
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