表面粗糙度高精快速测量探讨

本文扼要叙述了目前国内外表面粗糙度检测技术及其设备的发展状况。较详细地分析了反射散射光强度比法非接触测量和金刚石触针扫描法三维接触测量的工作原理和特点。提出了为适应高生产率自动化检测的需要,应综合反射散射光强度比法测量和金刚石触针扫描法三维测量法的优点,研制高精快速三维非接触法新型表面粗糙度测量装置。