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基于反射测定法的SOI膜厚检测系统
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作者 严冬 李国光 +4 位作者 刘涛 熊伟 李成敏 郭青杨 叶甜春 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期727-730,共4页
研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对... 研制可用于膜厚检测的系统,获取薄膜反射光谱,基于多层膜反射率模型和非线性回归算法得到厚度分布图。对SOI材料的反射光谱进行测试及分析,结果表明,对于厚度为30μm的顶层硅,其静态重复性为±0.01nm,动态重复性为±1.30nm;对于厚度为2μm的氧化层,其静态重复性为±0.02nm,动态重复性为±1.60nm。该技术还适用于其他集成电路制造工艺中不同材质的膜厚检测。 展开更多
关键词 S01 反射测定法 膜厚检测 形貌
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GFRP材料损失缺陷的微波反射定量检测 被引量:9
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作者 回沛林 李勇 +3 位作者 王若男 方阳 陈振茂 武永卓 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第7期110-113,共4页
玻璃纤维增强复合材料(GFRP)由于其重量轻、比强度高、耐腐蚀、电绝缘性能好等特性被广泛用于航天航空、管道运输等领域。由于其服役环境恶劣,容易遭受冲击形成局部材料损失缺陷,影响其结构完整性。对GFRP局部材料损失缺陷进行有效的无... 玻璃纤维增强复合材料(GFRP)由于其重量轻、比强度高、耐腐蚀、电绝缘性能好等特性被广泛用于航天航空、管道运输等领域。由于其服役环境恶劣,容易遭受冲击形成局部材料损失缺陷,影响其结构完整性。对GFRP局部材料损失缺陷进行有效的无损检测十分重要。相比于其他GFRP无损检测方式,微波无损检测具有灵敏度高、非接触、无需耦合剂、快速等优势。围绕GFRP局部材料损失缺陷,集中探究基于微波反射测定法对该类型缺陷的无损定量检测可行性。实验结果证实了微波反射测定法对GFRP局部材料损失缺陷进行可视化定量检测的可行性。 展开更多
关键词 无损检测 微波反射测定法 玻璃纤维增强复合材料 局部材料损失 定量评估
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针对硝化菌抗盐机理的研究 被引量:3
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作者 屈晋云 刘波 +1 位作者 万馥君 王铸 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期108-111,共4页
为研究盐度对硝化菌的影响,以及硝化菌对盐度的抵抗机理,以模拟皮革废水为处理对象,考察了硝化菌硝化作用过程中的脱氮效率,脱氮数率,pH值,溶解氧,以及硝化菌胞外聚合物的含量与成分变化。结果表明在盐度逐步提高的情况下,出水氨氮从几... 为研究盐度对硝化菌的影响,以及硝化菌对盐度的抵抗机理,以模拟皮革废水为处理对象,考察了硝化菌硝化作用过程中的脱氮效率,脱氮数率,pH值,溶解氧,以及硝化菌胞外聚合物的含量与成分变化。结果表明在盐度逐步提高的情况下,出水氨氮从几乎检测不出升高到80 mg/L左右,硝化菌脱氮效率下降明显,并且有一定的规律性。pH值先降后升,溶解氧随着时间推移逐渐升高,但是随着盐度提高规律性越来越不明显。硝化菌所产生的胞外聚合物随着盐度提高,胞外聚合物总量有所提高,其主要成分含量发生变化,即多糖所占比例从35.2%升高到63.6%,蛋白质所占比例从58.8%减少到30.9%,从而影响活性污泥的絮凝性,从机理方面来解释盐度对硝化菌硝化作用的影响。 展开更多
关键词 胞外聚合物(EPS) 皮革废水 盐度 硝化作用 聚焦光束反射测定法(FBRM)
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玻璃纤维增强复合材料局部减薄损伤的微波无损定量检测 被引量:10
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作者 胡金花 李勇 +3 位作者 谭建国 陈振茂 武永卓 李文嘉 《传感器与微系统》 CSCD 2020年第3期113-116,共4页
由于恶劣的服役环境,玻璃纤维增强复合材料(GFRP)易遭受外力冲击进而出现材料减薄损伤,该损伤对结构完整性和安全性构成极大威胁,因此,对GFRP减薄损伤实施有效的无损定量检测具有重大意义。集中探究GFRP减薄损伤的微波无损定量检测手段... 由于恶劣的服役环境,玻璃纤维增强复合材料(GFRP)易遭受外力冲击进而出现材料减薄损伤,该损伤对结构完整性和安全性构成极大威胁,因此,对GFRP减薄损伤实施有效的无损定量检测具有重大意义。集中探究GFRP减薄损伤的微波无损定量检测手段。建立了微波检测GFRP减薄缺陷的二维有限元仿真模型,仿真研究了减薄缺陷与检测响应信号及其特征的关联规律。搭建了Ka频段(30~40 GHz)微波检测实验平台,通过矩形开口波导探头对GFRP减薄缺陷进行二维扫描成像,获取损伤图像。实验结果表明:微波无损定量检测GFRP减薄缺陷的可行性。 展开更多
关键词 微波检测 玻璃纤维增强复合材料 局部减薄 反射测定法 定量评估
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论阻焊油墨对PCB之特性阻抗的影响 被引量:3
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作者 耿波 《印制电路信息》 2015年第1期31-33,39,共4页
PCB中特性阻抗的控制与设计,决定着最终产品传输信号的好坏。而在加工PCB环节中,对阻抗的影响因素有诸如线宽/间距、铜厚、阻焊厚度等因素,本文将针对阻焊油墨对PCB特性阻抗的影响做简要的论述。
关键词 特性阻抗 时域反射测定法 影响因素 阻焊厚度
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导波雷达液位计的回波信号处理电路设计
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作者 兰茂亮 赵辉 刘伟佳 《自动化信息》 2010年第10期34-36,共3页
该文简要地介绍了雷达液位计的分类和导波雷达液位计的测量原理,在此基础上设计出导波雷达液位计的回波信号处理电路,并详细地分析了回波信号的处理过程。所设计的电路简单实用,而且系统运行稳定,能满足工业测量要求。
关键词 导波 窄脉冲 时域脉冲展宽 时域反射测定法
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Measurement Principles of TRIME-TDR System and its Application in Caijiachuan Watershed,the Loess Plateau,China
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作者 LIXiaoyin BIHuaxing ZHANGJianjun 《Chinese Forestry Science and Technology》 2004年第4期43-49,共7页
Time domain reflectometry (TDR) is a highly accurate and automatic method for determination of porous media water content and electrical conductivity. This paper focuses on the basic principle of TDR technology and it... Time domain reflectometry (TDR) is a highly accurate and automatic method for determination of porous media water content and electrical conductivity. This paper focuses on the basic principle of TDR technology and its application in Caijiachuan watershed, the Loess Plateau, China, the composition and structure of a set of TDR-TRIME. The installation, measurement and calibration of TRIME-TDR in the Loess Plateau has been introduced. The factors that can influence the veracity of the measurement by TDR have also been analyzed in the article. 展开更多
关键词 黄土高原 Caijiachuan流域 时间域反射测定法 TDR 土壤湿度 电传导率
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