TiO_2薄膜的结构和光学性质的研究

以金属钛为靶材 ,用反应射频溅射法制备了TiO2 薄膜 ,并在 6 0 0～ 90 0℃下进行了热处理 .经XRD测量 ,在 6 0 0～ 80 0℃下TiO2 薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态 ,在 90 0℃下TiO2 薄膜为纯金红石结构 .研究TiO2薄膜的SEM照片和UV vis透射光谱发现 ,不同的热处理温度会影响TiO2 薄膜中锐钛矿和金红石两种结构的比例 ,从而导致TiO2 薄膜的微观形貌、折射率、禁带宽度等性质的变化 .