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扩散炉管气体流动分析和流量计算数学模型
被引量:
3
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作者
闫建新
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期706-710,共5页
环境温度气体通过进气管进入高温扩散炉管后迅速膨胀,气体流量和流速均数倍增加;气体射流在炉尾形成的紊流区延伸到工艺恒温区范围,导致靠近炉尾恒温区的气体流动不稳定。通过放置挡板或挡片的方式可以减轻炉尾紊流区对恒温区Si片工艺...
环境温度气体通过进气管进入高温扩散炉管后迅速膨胀,气体流量和流速均数倍增加;气体射流在炉尾形成的紊流区延伸到工艺恒温区范围,导致靠近炉尾恒温区的气体流动不稳定。通过放置挡板或挡片的方式可以减轻炉尾紊流区对恒温区Si片工艺的影响。根据扩散炉管内气体的流动状态和气体动力学有关参数和计算方法,推导出计算气体流量的数学模型公式,只需利用扩散炉管的基本参数就可以计算出需要通入炉管的环境温度气体流量,减少凭经验判定气体流量参数的盲目性,减少不必要的气体材料消耗。
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关键词
扩散炉管
气体流量
流动
分析
反应平衡分析
数学模型
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职称材料
题名
扩散炉管气体流动分析和流量计算数学模型
被引量:
3
1
作者
闫建新
机构
杭州士兰集成电路有限公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期706-710,共5页
文摘
环境温度气体通过进气管进入高温扩散炉管后迅速膨胀,气体流量和流速均数倍增加;气体射流在炉尾形成的紊流区延伸到工艺恒温区范围,导致靠近炉尾恒温区的气体流动不稳定。通过放置挡板或挡片的方式可以减轻炉尾紊流区对恒温区Si片工艺的影响。根据扩散炉管内气体的流动状态和气体动力学有关参数和计算方法,推导出计算气体流量的数学模型公式,只需利用扩散炉管的基本参数就可以计算出需要通入炉管的环境温度气体流量,减少凭经验判定气体流量参数的盲目性,减少不必要的气体材料消耗。
关键词
扩散炉管
气体流量
流动
分析
反应平衡分析
数学模型
Keywords
diffusion furnace
gas flow
fluid analysis
reaction equilibrium analysis
mathematics model
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扩散炉管气体流动分析和流量计算数学模型
闫建新
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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