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扩散炉反应管压力自平衡系统的设计
1
作者
李克
郭立
+2 位作者
毛朝斌
陈特超
李健志
《电子工业专用设备》
2012年第7期32-35,共4页
对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从...
对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。
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关键词
扩散
反应管压力自平衡
尾气控制
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职称材料
题名
扩散炉反应管压力自平衡系统的设计
1
作者
李克
郭立
毛朝斌
陈特超
李健志
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心
出处
《电子工业专用设备》
2012年第7期32-35,共4页
文摘
对晶体硅太阳能电池片生产用扩散炉反应管压力平衡系统的要求及原理进行了阐述,由于反应管内气流变化对扩散效果影响很大,本系统根据实际使用经验,对工艺管内压力进行检测,在外围尾气排放不稳定的条件下,对反应管内气体排放进行调节,从而控制管内压力,使管内流速均匀,达到好的扩散效果。
关键词
扩散
反应管压力自平衡
尾气控制
Keywords
Diffusion
Process tube pressure control system
Exhaust control
分类号
TN305.4 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扩散炉反应管压力自平衡系统的设计
李克
郭立
毛朝斌
陈特超
李健志
《电子工业专用设备》
2012
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