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限定束流发射相图的方法
1
作者
张维忠
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期337-340,共4页
本文讨论了利用束流元件与狭缝限定束流发射相图的方法,并以偏转磁铁为例,说明了这种方法的应用。
关键词
束流
发射相图
接受
相图
束流光学
下载PDF
职称材料
离子注入机的接受相图分析
被引量:
2
2
作者
蔡仁康
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第12期740-748,共9页
束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的...
束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。
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关键词
离子
注入机
接受
相图
发射相图
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职称材料
题名
限定束流发射相图的方法
1
作者
张维忠
机构
中国科学院上海原子核研究所
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第6期337-340,共4页
文摘
本文讨论了利用束流元件与狭缝限定束流发射相图的方法,并以偏转磁铁为例,说明了这种方法的应用。
关键词
束流
发射相图
接受
相图
束流光学
Keywords
Acceptance diagram Emittance diagram Beam optics
分类号
TL501.5 [核科学技术—核技术及应用]
下载PDF
职称材料
题名
离子注入机的接受相图分析
被引量:
2
2
作者
蔡仁康
机构
上海科技大学
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990年第12期740-748,共9页
文摘
束流光学系统中各个元件的接受相图变换到同一地点,得到整个系统的接受相图。束流光学设计的任务就是使束流的发射相图与系统的接受相图相匹配。从它们的匹配情况可以估计束流的传输效率。本文以LC-2B型离子注入机为例说明了这个方法的应用。
关键词
离子
注入机
接受
相图
发射相图
Keywords
Beam optics Acceptance diagram Emittance diagram Ion implanter
分类号
TL503 [核科学技术—核技术及应用]
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题名
作者
出处
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1
限定束流发射相图的方法
张维忠
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991
0
下载PDF
职称材料
2
离子注入机的接受相图分析
蔡仁康
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1990
2
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职称材料
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