受激准分子灯

受激准分子灯是近期研发的一种新类型产品,该灯采用一个充以低压气体的玻壳,两个电极至少有一个置于玻壳外,常用玻壳内无电极的结构。它可产生真空紫外线或紫外线+臭氧气,用于消毒杀菌清洁液晶基片、集成电路晶片等领域。