变气隙式电容传感器非线性补偿新方法

变气隙式电容传感器具有灵敏度高、特别适用于微小位移的非接触测量,对被测系统影响小。但其存在非线性,须进行非性补偿。本文介绍了两种较为新颖的非线性硬件补偿方法,电路具有补偿效果好、数字输出、易于实现及成本低等优点,并给出了原理电路。