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基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法 被引量:2
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作者 张恒 李思坤 王向朝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期35-43,共9页
提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法,在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模,对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将结果相乘以重构成三... 提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法,在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模,对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将结果相乘以重构成三维衍射谱。以6°主入射角、45°线偏振光照明及22nm三维方形接触孔掩模为例,在入射光方位角0°~90°变化范围内,相同仿真参数下,该方法的仿真结果与商用光刻仿真软件Dr.LiTHO的严格仿真结果相比,图形特征尺寸误差小于0.21nm,仿真速度提高约65倍。在上述参数下,该方法与Dr.LiTHO的域分解方法及基于掩模结构分解法等快速方法相比,仿真精度和速度均提高1倍以上。该模型无需参数标定,适用于矩形图形的三维掩模快速仿真。 展开更多
关键词 衍射 极紫外光刻 掩模衍射谱仿真 变量分离分解法 接触孔图形
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Variable Separation and Derivative-Dependent Functional Separable Solutions to Generalized Nonlinear Wave Equations 被引量:3
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作者 ZHANGShun-Li LOUSen-Yue 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2004年第2期161-174,共14页
Using the generalized conditional symmetry approach, we obtain a number of new generalized (1+1)-dimensional nonlinear wave equations that admit derivative-dependent functional separable solutions.
关键词 variable separation nonlinear wave derivative-dependent functional separable solution
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