可延展柔性无机微纳电子器件原理与研究进展

近年来由于可延展性电子已经成为电子产业界以及学术界的研究热点。这种全新的设计,在保持电子器件高性能的同时,具备形状可弯曲、伸缩等柔性性能。本文介绍了可延展柔性无机微纳电子器件的工作原理,且分析了当前的研究进展,认为随着可延展柔性无机电子器件的应用以及技术的熟练,将会引发电子行业的巨大改革。

基于微结构的网印柔性压力传感器

智能生活将生活中的各种物品串联在了一起,物联网的壮大已经成为不争的事实。根据IDC的预测,全球物联网市场的规模将在2017年由2013年的5.4万亿美元增至7.3万亿美元。而智能家居和可穿戴设备等一系列新型生活方式的崛起,为传感器带来产业链淘金机会,其中包括MEMS传感器等。作为产业链上游技术的核心,原本用于汽车、智能手机的MEMS传感器系统开始强势进入可穿戴设备。

面向柔性光电子器件的微纳光制造关键技术与应用

柔性光电子器件对微纳制造技术提出了更高、更多维度的要求,包括大幅面、表面复杂结构、跨尺度、透明或柔性基底等。主要介绍基于相位元件调制的3D激光直写技术和紫外连续变频光刻技术,它们可分别实现复杂表面浮雕结构和像素化纳米结构的精确制备。此外微纳结构限定性生长或涂布方法提供了一种绿色环保的材料功能化手段。借助微纳结构图形化、功能化平台,最后介绍了新型柔性光电子材料/器件的应用创新。可以预见,微纳光制造技术将推动柔性光电子产业的持续创新发展。