微型可编程相位光栅的理论特性研究

本文提出了一种基于微光机电系统 ( MOEMS)的新型可编程相位光栅技术 ,并对其工作原理和理论特性进行了分析和研究 ,同时给出部分数值仿真结果 ,并得出了一些重要的结论。

微型可编程相位光栅结构设计及有限元分析

微纳米技术的迅速发展促使微机电系统 (MEMS)与微光学相结合形成微光机电系统 (MOEMS) ,从而为可编程相位光栅的研究和实现提供了可能。在 MOEMS的设计中 ,仅用传统的分析手段已经不够 ,其建模和仿真需要用到有限元分析。本文提出了一种可编程相位光栅的可变形结构 ,运用经典理论建模 ,通过计算得到其变形的定性分析结果和定量的近似结果 ,并提出一个用有限元分析软件 ANSYS进行有限元建模的实例 。

可编程相位光栅结构的微机械特性研究

描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果。光栅样机采用硅微机械技术加工而成,其测试结果表明,光栅样机的频响特性基本符合理论推导与仿真结果,光带谐振频率在120Hz～240Hz的区间之内,截止频率约为7.14kHz;光带的响应时间与回复时间相当,约为70μs。

基于MOEMS的微型可编程相位光栅原理性

本文叙述了一种基于MOEMS技术的微型可编程相位光栅的原理性实验结果,并与数值仿真结果进行了比较,验证了这种光栅技术理论的正确性和技术的可行性、优越性.

可编程相位光栅的结构设计与制作工艺

可编程相位光栅技术在光通讯领域有较广的应用,也可作为微型光谱仪的新颖色散器件。该文设计了一种基于MEMS的可编程相位光栅,其特征参数可以通过编程控制和改变。通过经典理论建模与分析,设计了可编程相位光栅的结构;并对光栅的光带结构参数进行了优化,从而有利于可编程相位光栅功能的实现,提高了制作的可靠性和成功率;设计了针对可编程相位光栅的表面硅微工艺,并对改善应力、去牺牲层和防粘连等关键问题进行了分析,改进了工艺,成功研制出样品,其结构尺寸约为4mm×6mm,有效工作部分的面积约为4mm×2mm.

一种静电驱动微机械元件的结构模型

静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较深入的研究,探讨了各主要结构参数及控制电压对结构驱动性能的影响。结果表明,在设计尺度范围内,微梁主要结构参数按照对光带变形的影响大小排列分别为微梁厚度、微梁变形前与衬底间的距离及微梁长度.