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可穿戴柔性电子的快速制备与医疗应用 被引量:9
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作者 张森浩 邱东海 +3 位作者 衣宁 程寰宇 张莹莹 杨洪波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1362-1369,共8页
为更好实现可穿戴柔性电子的初期设计和试验验证,提出了一种基于“切割和粘贴”的柔性电子快速制备方法。首先,通过对比光刻工艺与喷墨打印工艺,提出了一种基于激光切割的微纳图案化工艺;接着,利用调节聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体的黏附... 为更好实现可穿戴柔性电子的初期设计和试验验证,提出了一种基于“切割和粘贴”的柔性电子快速制备方法。首先,通过对比光刻工艺与喷墨打印工艺,提出了一种基于激光切割的微纳图案化工艺;接着,利用调节聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体的黏附力来控制能量释放率,将带图案的薄膜结构转印到弹性基底;然后,为保证金属电极与柔性基体间紧密贴合,采用PDMS对整体结构进行了封装;最后,搭建了多通道生理信号采集系统,对所加工柔性电极进行电生理测试与医疗探索。实验结果表明:与传统柔性电子加工工艺相比,文章提出的工艺效率较高,成本较低,可在10min内完成整套工艺,同时制备的电子传感器件可以与皮肤保形接触且输出稳定信号,可为柔性电子的初期设计及后续产业化应用打下基础。 展开更多
关键词 可穿戴 快速转印 可调黏附力 柔性电子 心电图
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