FOG制造工艺及其关键技术

介绍了ACF技术和FOG工艺(ACF预贴、预邦定、主邦定和检测);详细阐述了FOG制造工艺的关键技术压力控制、温度控制及高温状态下压头的平行度要求;通过图表和数据分析提出了相应的解决方案,合理的气路设计提高邦定压力的精度和脉冲控温技术,利用有限元设计软件进行压头结构设计。FOG制造工艺及其关键技术的研究对我们研发相关设备具有重要的指导意义。