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HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究
1
作者
李晖
《集美大学学报(自然科学版)》
CAS
2010年第5期378-383,共6页
对用于制备GaN的具有同心圆喷头的HVPE(氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了三维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模...
对用于制备GaN的具有同心圆喷头的HVPE(氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了三维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模拟结果的分析,得出输运过程的优化条件为:尽量减小总载气进口流量,适当增大同心圆喷口的双进口流量,并降低反应室内的压强.
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关键词
HVPE反应器
同心圆喷头
输运现象
数值模拟
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职称材料
题名
HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究
1
作者
李晖
机构
集美大学机械工程学院
江苏大学能源与动力工程学院
出处
《集美大学学报(自然科学版)》
CAS
2010年第5期378-383,共6页
基金
福建省科技计划重点项目(2009H2006)
文摘
对用于制备GaN的具有同心圆喷头的HVPE(氢化物气相外延)反应器内的输运现象进行了三维数值模拟研究.在模拟计算中,分别改变总载气进口流量、同心圆喷口进口流量、重力、压强等条件,得到反应器内流场、温场、浓度场的相应变化.根据对模拟结果的分析,得出输运过程的优化条件为:尽量减小总载气进口流量,适当增大同心圆喷口的双进口流量,并降低反应室内的压强.
关键词
HVPE反应器
同心圆喷头
输运现象
数值模拟
Keywords
HVPE reactor
concentric-circular inlets
transport process
numerical simulation
分类号
TK121 [动力工程及工程热物理—工程热物理]
TB43 [一般工业技术]
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题名
作者
出处
发文年
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1
HVPE反应器内输运现象的数值模拟研究
李晖
《集美大学学报(自然科学版)》
CAS
2010
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