微细加工新技术—LIGA技术

LIGA技术是近几年才开展起来的一门新技术,是微细加工的一种新方法。本文对这一技术,从简单工艺过程到每个具体工序环节都详细、深入地进行了介绍。LIGA技术是由光刻、电铸、塑铸三个环节组成,尤刻以同步辐射深度X光曝光为主。由于同步辐射X光有非常好的平行性、极高的辐射强度、连续的光谱,使这项技术能够制造出高宽比大到100、厚度可达几百微米、结构侧壁平行线偏差在亚微米范围内的微米级三维立体结构。通过电铸、塑铸就可将这一结构转换成金属或塑料的微结构产品。 这项技术在短短几年的发展过程中,已制造出电机、齿轮、发动机、涡轮、联杆、单色器、光纤联接器、电联接器、喷嘴、泵、阀、加速度传感器等微型结构与器件,被认为是将对下一世纪带来重大影响的一门新技术。