深亚微米同步辐射x射线光刻技术

报道了我们制作深亚微米 x射线掩模的工艺和同步辐射 x射线曝光工艺 ,并报道了我们在北京同步辐射装置 (BSRF) 3B1 A光刻束线所获得的深亚微米

同步辐射微束X射线荧光CT的计算机模拟

同步辐射微束X射线荧光CT是一种能无损、高空间分辨和高灵敏地探测样品内部元素含量和分布的新技术,是在建的上海光源(SSRF)硬X射线微聚焦及应用光束线站可开展的实验方法之一。本文简要介绍了同步辐射微束X射线荧光CT的基本原理和实验技术发展,对同步辐射微束X射线荧光CT实验进行了计算机模拟,用滤波反投影算法(FBP)、代数重构算法(ART)和加吸收修正的FBP算法重构了模拟样品的图像。对各种重构方法得到的图像质量进行了分析和比较,讨论了其适用性。

同步辐射X射线光刻应用新领域──LIGA技术

介绍了一种超微细加工新方法－ＬＩＧＡ技术，并就ＬＩＧＡ技术对掩模材料、光刻胶和光源的要求予以讨论，同时还介绍了国外在这方面的最新研究成果。ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技术相结合的综合技术，是制造微型机械最有前途的方法。与传统半导体超微细加工方法相比，ＬＩＧＡ技术有以下优点：（１）用材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物及玻璃；（２）可加工任意复杂的图形结构；（３）可制造有较大高宽比的超微细元件；（４）加工精度高，可达亚微米；（５）可重复复制，工业上能批量生产，成本低。

用同步辐射X射线荧光微探针技术研究硝酸镧对单个平滑肌细胞内重要元素分布的影响

应用同步辐射X射线荧光微探针技术 (SRXRF) ,观察稀土元素化合物硝酸镧La(NO3) 3(浓度为 10 - 8mol/L)对培养的单个大鼠平滑肌细胞内重要元素分布的影响 ,获得La(NO3) 3作用4h ,8h ,2 4h时单个细胞内P ,K ,Ca ,Fe ,Cu ,Zn ,La等元素含量的相对计数。实验中观察到 ,10 - 8mol/LLa3+持续作用后 ,细胞内K ,Ca ,Fe ,Cu ,Zn等元素含量分布发生改变。结果表明 ,La3+可能富集在细胞内 ,影响细胞内某些重要元素含量的分布 ,可能是引起细胞生理生化变化的机制之一。

同步辐射X射线光刻技术

同步辐射 X射线光刻 (SRXL)是本世纪超大规模集成电路 (VLSI)发展中最有希望的深亚微米图形加工技术 ,本文综述了 SRXL技术研究的现状及存在的问题 。

同步辐射x射线光刻制作深亚微米T形栅

x射线光刻非常适合用于深亚微米T形栅的制作,这是因为它的高分辨率、大的曝光视场和高的生产效率足以满足MMIC制造工艺的要求。本文中我们首先对我们的x射线掩模制造工艺进行介绍,然后论述了一种用于制造深亚微米T形栅的两层胶工艺,介绍了所取得的一些研究结果,最后对国内的深亚微米光刻现状进行了简要分析。

深亚微米同步辐射x射线光刻模拟

用束衍生法研究了深亚微米同步辐射 x射线光刻中掩模吸收体的光导波效应 ,并对 x射线光刻后的光刻胶剖面进行了理论计算。采用面向对象技术 ,研制了一个取名为 XLLS1 .0的模拟软件。

基于同步辐射X射线相衬显微CT技术的煤孔隙结构表征

以上海同步辐射装置产生的同步X射线束为光源,对3种不同变质程度煤样的相位衬度CT成像和重构二维横截面投影,得到煤样和煤中矿物质的三维立体图像,经定量分析可知煤样的总孔隙体积、单个矿物质最大体积、矿物质总数以及矿物质平均体积等参数。结果表明:随着变质程度的加深,煤中总孔隙体积和矿物质平均体积均呈逐渐减少趋势,煤中孔隙从大孔逐渐过渡到大中孔和微孔,呈逐渐紧密化的物理结构特征。

同步辐射X射线掠入射衍射实验技术及应用

利用北京同步辐射装置漫散射实验站的五圆衍射仪，建立了掠入射X射线衍射实验方法。对Si表面生长的Ge/Si量子点及其在Si表层产生的应变进行了成功测量，表明此方法可以有效地提取表面层的微弱信号。实验结果表明，Ge/Si量子点的形成除了在Si衬底表层形成了晶格具有横向膨胀应变的区域之外，还在Si衬底中形成了具有横向压缩应变的区域。

纳米尺寸同步辐射X射线光刻技术研究

本文报道了作者在同步辐射X射线光刻研究中的一些新进展，其中，最细尺寸已达50纳米。

同步辐射X射线驻波实验技术研究半导体超薄异质外延层

利用双晶单色器和精密二圆衍射仪，在北京同步辐射装置建立了同步辐射X射线驻波实验技术，并用这一实验技术结合X射线衍射方法，研究了Si晶体中外延生长的超薄Ge原子层的微结构。实验结果表明，由于Ge原子的偏析，在Si晶体样品中形成了共格生长的GexSi1-x合金层，浓度平均值为X=0．13；650℃退火会使Ge原子向表面扩散，Si晶体中的合金层消失，在晶体表面形成接近纯Ge的单原子层。

应用同步辐射X射线多模态成像研究死亡延迟时间对脑组织染色的影响

用于科学研究的人脑组织通常由遗体捐赠来获取,然而死亡延迟时间(Post-mortem Delay,PMD)是影响人脑组织染色的重要因素之一,目前对于PMD如何影响人脑组织的染色尚缺乏研究。本工作利用取脑后放置不同时间的小鼠脑组织来模拟人脑PMD的状态,采用高尔基染色、尼氏染色对其大脑皮层区域染色并进行光学显微镜成像,重点运用同步辐射X射线微米CT成像技术研究PMD对小鼠脑组织高尔基染色的影响。结果表明:随着PMD的增长,神经元的完整性和复杂性呈现明显的降低趋势,神经元的树突棘的数目明显减少,同步辐射X射线微米CT成像的结果也证实了锥体神经元纤维结构随放置时间的延长逐渐变短直至消失。研究结果将为人脑组织高尔基染色方法的建立和同步辐射X射线成像奠定基础。

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术在生物原位研究中的应用

同步辐射共聚焦X射线荧光微探针技术(Synchrotron Radiation confocal micro X-ray Fluorescence,confocal μ-SRXRF)是一种具有深度分辨的三维元素分析方法,可以原位获得样品不同深度的化学元素信息,广泛应用于生命和环境原位研究领域。在上海同步辐射光源(Shanghai SynchrotronRadiationFacility,SSRF)硬X射线微聚焦及应用光束线站(BL15U1)搭建了共聚焦μ-SRXRF的实验装置和低温原位装置,并应用于生物样品体内化学元素分析。利用该装置对拟南芥种子和保持在低温环境中的大型蚤进行了原位荧光成像分析,无需切片及干燥过程直接获得了化学元素在样品体内的空间分布特征,并与常规μ-SRXRF获得的结果进行对比。实验结果表明:共聚焦μ-SRXRF可直接对生物样品体内的化学元素进行有效测量,同时联合低温原位装置可以扩展对热敏感的生物样品的化学元素分析,为生命和环境等研究领域提供强有力的原位表征技术。

同步辐射X射线深度光刻实验

深度同步辐射光刻是LIGA技术的关键工艺环节。利用同步辐射X射线的高平行性、硬射线的高强度，可以光刻出非常深的胶结构，并且这一结构有着很好的尺寸精度和垂直精度，对加工出微型机械结构，具有重要作用。

同步辐射硬X射线弧矢聚焦单色化技术的研究

介绍了光束在5～25keV弧矢聚焦单色仪中的单色化及聚焦原理。光束弧矢聚焦单色化原理是指以Bragg定律(2dsinθ=nλ)为基础,改变Bragg角θ,获得所需的波长λ来实现光束的单色化。根据Bragg角θ和压弯晶体的弧矢半径R之间的关系,使单色光束通过弧矢聚焦晶体改变方向并实现单色光聚焦;说明了以柔性铰链为基础的弧矢压弯原理、压弯晶体鞍型形变的抑制、保证出射光与入射光高差固定的结构原理、压弯晶体衍射面面形误差的有限元分析结果;给出了实验结果。

X射线CT技术在工艺矿物学中的应用

工艺矿物学主要通过研究各类矿石性质为制定合理的选冶工艺流程提供理论依据,在矿床综合评价以及矿产资源合理高效利用过程中均发挥着重要作用。在工艺矿物学的研究过程中,利用传统分析手段往往只能获取矿石的二维平面信息,而缺乏对矿石三维矿物学和结构的了解。近年来,X射线CT技术因其独特的对样品三维结构特征的无损提取能力,在国际上已逐步应用于工艺矿物学研究领域。介绍了X射线CT的结构、成像原理,以及利用X射线CT对矿物粒度、解离特征、矿物量等重要工艺矿物学参数进行量化表征的典型应用实例。随着X射线CT硬件设备的性能提升和数字图像处理技术的不断发展,X射线CT技术将可能成为工艺矿物学研究中的重要分析测试手段。

多层螺旋CT后处理技术与X射线平片诊断四肢骨折的价值比较

目的 比较多层螺旋CT (MSCT)后处理技术与X射线在诊断四肢骨折中的应用价值。方法 选择2019年1月—2021年5月期间抚州市东乡区人民医院收治的60例四肢骨折患者作为研究对象,所有患者均行MSCT后处理技术检查和常规X射线检查,并以拍片检查作为金标准,记录分析MSCT后处理技术与X射线检查对诊断四肢骨折的诊断效能,对比2种诊断方式对四肢骨折的诊断符合率。结果 X射线检出48例,诊断符合率为80.00%;MSCT后处理技术检出58例,诊断符合率96.67%。MSCT后处理技术对四肢骨折的诊断符合率高于X射线,差异有统计学意义(P<0.05)。结论 采用多层螺旋CT后处理技术诊断四肢骨折其诊断准确度高于X射线,漏诊情况更少,可为医师诊治提供更多有效信息,显著提升整体治疗效果,具有实际推广价值。

聚乙烯醇修饰Fe_3O_4纳米颗粒的制备表征及同步辐射X射线光电子能谱研究

采用水溶性高分子聚合物聚乙烯醇(PVA)对Fe_3O_4纳米颗粒表面进行功能化修饰,利用透射电镜(TEM)、紫外可见吸收光谱(UV-vis)、Zeta电位检测、电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)和热重分析(TGA),对包被前后Fe_3O_4的粒径、分散稳定性、PVA的包覆效率及纳米颗粒进入细胞的量进行了表征研究。通过同步辐射X射线光电子能谱技术(SRXPS)对修饰前后的Fe_3O_4表面的化学组分、表面原子的化学结构、化学键合情况进行了定性分析,给出了PVA与Fe_3O_4纳米颗粒作用的反应机理。结果表明,PVA修饰后的Fe_3O_4在溶液中稳定分散的时间大大延长,且进入细胞的量明显增多。SRXPS分析证明,PVA大分子链上的-OH功能团与纳米粒子表面富含的-OH功能团通过氢键的方式结合,形成稳定分散的PVA-Fe_3O_4,从而有利于其生物利用。

CT检查中低X射线剂量技术的应用和进展

近年来,伴随着影像学技术的进步与发展,多层螺旋CT技术也逐渐在临床中得到广泛应用,其中亚毫米层厚平扫以及高分辨率等的应用使得心脏影像及灌注等的研究进一步深入。但是,CT检查在应用中所产生的辐射剂量对人体有较大损伤,尤其是对于儿童,与成人比较其接受CT平扫后引发的癌症发生率较高,因此,降低CT检查中低X射线的应用剂量,对提高其应用的安全性具有至关重要的作用。

基于X射线微米CT扫描技术的煤岩孔裂隙多尺度精细表征——以沁水盆地南部马必东区块为例

深入探究煤层气赋存和运移机理,不仅需要分析煤岩孔裂隙结构的空间分布特征,还需对其进行定量表征。为此,以沁水盆地南部马必东区块3#煤层为研究对象,应用X射线微米CT扫描技术,先构建低精度CT扫描煤岩母样三维数字化模型,再通过高精度CT扫描构建煤岩子样三维数字化模型。在此基础上,利用Avizo图像处理软件,重构煤岩孔裂隙系统,实现煤岩孔裂隙的多尺度定量表征。研究结果表明,沁水盆地南部马必东区块3#煤层发育多尺度孔裂隙结构。煤岩孔裂隙宏观上以C型为主,微观上以E型为主。煤岩发育成孤立片状分布的宏观孔裂隙及连通性较差的孔裂隙。据子样和母样矿物含量的相关性可知,较大规模的孔裂隙多被矿物充填,限制了煤层气的渗流和产出。