半导体激光器后腔面高反射涂层的研究

采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层。经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高60%,阈值电流减小20%～50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面。

半导体激光器

TN248.4 2004031745半导体激光器后腔面高反射涂层的研究=Study of structure of high reflecting coating for semiconductor laser rearfacet[刊,中]/吴根柱（中科院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室.上海（200050））,齐鸣…∥功能材料与器件学报.—2003,9（3）.—343-346 采用金属银（Ag）作为高反射镀膜材料,ZrO2