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激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究
被引量:
7
1
作者
王凤蕊
黄进
+4 位作者
刘红婕
周信达
蒋晓东
吴卫东
郑万国
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期5122-5127,共6页
用光学显微镜和原子力显微镜记录HF酸刻蚀后熔石英元件后表面划痕的形貌结构,并利用单脉冲激光对其进行辐照测试,以研究不同结构参数划痕的激光损伤特性.实验结果表明,由于HF酸的腐蚀钝化作用,划痕结构横向截面呈余弦形分布;其初始损伤...
用光学显微镜和原子力显微镜记录HF酸刻蚀后熔石英元件后表面划痕的形貌结构,并利用单脉冲激光对其进行辐照测试,以研究不同结构参数划痕的激光损伤特性.实验结果表明,由于HF酸的腐蚀钝化作用,划痕结构横向截面呈余弦形分布;其初始损伤阈值并非由单一的划痕宽度或深度参数决定,而是与其横向剖面结构的宽深比值密切相关;通过实验得到了二者之间的关系曲线,并采用时域有限差分算法对不同结构参数划痕附近光场分布进行理论模拟,理论场计算得到的增强结果与实验值符合得很好.
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关键词
熔石英
后表面划痕
宽深比
损伤特性
原文传递
题名
激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究
被引量:
7
1
作者
王凤蕊
黄进
刘红婕
周信达
蒋晓东
吴卫东
郑万国
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期5122-5127,共6页
基金
国家高技术研究发展计划(批准号:2008AA8040508)资助的课题~~
文摘
用光学显微镜和原子力显微镜记录HF酸刻蚀后熔石英元件后表面划痕的形貌结构,并利用单脉冲激光对其进行辐照测试,以研究不同结构参数划痕的激光损伤特性.实验结果表明,由于HF酸的腐蚀钝化作用,划痕结构横向截面呈余弦形分布;其初始损伤阈值并非由单一的划痕宽度或深度参数决定,而是与其横向剖面结构的宽深比值密切相关;通过实验得到了二者之间的关系曲线,并采用时域有限差分算法对不同结构参数划痕附近光场分布进行理论模拟,理论场计算得到的增强结果与实验值符合得很好.
关键词
熔石英
后表面划痕
宽深比
损伤特性
Keywords
fused silica
rear-surface crack
breadth depth ratio
damage property
分类号
TL632.1 [核科学技术—核技术及应用]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究
王凤蕊
黄进
刘红婕
周信达
蒋晓东
吴卫东
郑万国
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
原文传递
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