含铜螯合物的感光性与CuO的微细图形研究

以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶法合成了含铜的螯合物,研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与含铜螯合物相关的吸收峰,当紫外光照射该凝胶薄膜后,与含铜螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,含铜螯合物分解。伴随着螯合物的分解,其凝胶薄膜在有机溶剂中的溶解性迅速降低,从而表现出紫外光感应特性,利用这种光感应特性,可获得该凝胶薄膜的微细图形。再经过500℃热处理,得到了具有立方相氧化铜薄膜的微细图形。