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非晶含锡有机膜的热处理行为
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作者 周坤磷 刘维民 《薄膜科学与技术》 1995年第4期356-361,共6页
射频辉光放电等离子体聚合四丁基锡制备了非晶含锡有机膜,研究了该膜在大气中的热处理行为。表明在不同热处理温度下,发生了锡的氧化、有机物脱除、晶化和相变等过程。
关键词 含锡有机膜 热处理 晶化 相变
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